682.400斜面切割工具儀（SC-Tool）- 提供均質(zhì)/非均質(zhì)材料橫截面可組合切割并zei小化減少其機(jī)械變形或損壞,。

682.400斜面切割工具儀規(guī)格：
離子源
離子槍 一個(gè)潘寧離子槍與微型稀土永磁體
離子束能量 1.0 KeV 到10.0 KeV
離子束直徑 5mm FWHM
離子電流密度 峰 10mA/cm2
氣體流量 氬氣 0.1cc/分/槍
刻蝕范圍 根據(jù)離子槍能量為7mm-10mm不等
刻蝕速率 10.0keV下，硅材料約10µm/小時(shí),，鎢材料約3µm/小時(shí)

Airlock組裝
樣品載臺(tái) 接納1¼英寸（31mm）金相套和多種SEM短截線
樣本旋轉(zhuǎn)速率 可變速率10-60 rpm
樣品傾斜角度 固定角度或可變搖擺角度（0° - 90°）
樣品搖擺速率 可變速率5°/秒 - 36°/秒
選配 用于側(cè)插TEM的TEM適配器或SEM樣品載臺(tái)

真空
干燥泵系統(tǒng) 兩個(gè)部分,，隔膜泵搭配一個(gè)70 升/秒渦輪泵
壓力 5E-6 托（6.6E-4Pa）基本壓力
6E-5 托（8E-3Pa）工作壓力
真空計(jì) 樣品腔冷陰極規(guī)，搭配固態(tài)壓力傳感器
樣品調(diào)換 Gatan WhisperlokTM,，樣品更換時(shí)間＜1分鐘
活性碳過濾器 真空排氣裝置,，以減少碘蒸汽排放到安全標(biāo)準(zhǔn)

尺寸及功率
總尺寸 560mmW x 480mmD x 430mmH (22W x 19D x 17H)
貨運(yùn)重量 45kg （100 lbs）
電源要求 通用電壓 100VAC-240VAC，50/60Hz
用戶需確定電源型號(hào)以保證正確的線路
能量消耗 運(yùn)行時(shí)需200瓦特,，離子槍關(guān)閉時(shí)需100瓦特
氣體需求 氬氣 70psi （4.82 bar）
替代氣體（其它惰性）20psi （1.38 bar）
碘蒸汽用于反應(yīng)離子束刻蝕（結(jié)晶碘由用戶自行提供）

保修 一年

斜面切割工具

斜面切割工具是標(biāo)準(zhǔn)PECS載臺(tái)的一個(gè)直接替代工具

Gatan的精密刻蝕鍍膜儀（PECS）是一個(gè)多功能的儀器,，根據(jù)操作條件和參數(shù)提供各種功能應(yīng)用于透射電鏡和掃描電鏡。這些特點(diǎn)包括離子束清洗,、平滑,、細(xì)化,、選擇性刻蝕、濺射鍍膜和斜面切割,。單獨(dú)使用斜面切割得不到高質(zhì)量圖像適應(yīng)當(dāng)今掃描應(yīng)用所需,；但當(dāng)配合使用PECS，其*切割,、刻蝕和鍍膜一體的特點(diǎn)使得樣品圖像具有高清晰度和高質(zhì)量,。