青島潔凈室生產(chǎn)設(shè)備工業(yè)設(shè)計選用

    為實現(xiàn)在潔凈室內(nèi)使用防塵、防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備,，在工業(yè)設(shè)計和選用設(shè)備是應(yīng)該遵循的一些基本要求,。青島潔凈室生產(chǎn)設(shè)備工業(yè)設(shè)計選用

   設(shè)備表面光潔,、易清潔、不積塵,、不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì),。這里不能只理解為設(shè)備外表面，應(yīng)該包括設(shè)備的所有可能與潔凈室生產(chǎn)環(huán)境接觸的表面和可能與電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程接觸的表面,，也包括這些表面的制作材料,。某些電子產(chǎn)品與一些化學(xué)物質(zhì)在制作過程中或在電子產(chǎn)品的使用過程中可能發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，影響某些電子產(chǎn)品的性能參數(shù),，所以要求設(shè)備表面不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì),。

    在電子工業(yè)潔凈室內(nèi)，常常按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求配置有在生產(chǎn)運行中將會散發(fā)微?；蚺艧崃看蠡蚺懦鲇卸尽⒖扇?xì)怏w的設(shè)備,，如半導(dǎo)體器件,、集成電路生產(chǎn)中的擴(kuò)散爐、外延爐,、刻蝕機(jī),、離子注入設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等,，此類設(shè)備一般均沒有局部排風(fēng)設(shè)施,。

    由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的需要，某些設(shè)備必須跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室時,，應(yīng)采取固定隔斷或接空氣幕等可靠的密封隔斷措施,。

    保護(hù)潔凈室內(nèi)工作人員的身體健康，潔凈室內(nèi)噪聲容許值,，因此安裝在潔凈室內(nèi)的設(shè)備應(yīng)選用符合要求的低噪聲設(shè)備,，由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程或設(shè)備設(shè)計、運行條件的限制,，所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時,，應(yīng)根據(jù)具體工程項目的實際條件采取相應(yīng)的隔聲措施。