日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計(jì)GMi系列

該產(chǎn)品是一種換能器型多離子規(guī)，可以連接具有不同測(cè)量范圍的測(cè)頭,。
在將常規(guī)方法的多種原理結(jié)合到一個(gè)外殼中的復(fù)雜真空計(jì)中,，“由于一個(gè)探針的故障，必須*更換一個(gè)探針”“探針復(fù)雜且容易發(fā)生故障”我們經(jīng)常聽(tīng)到客戶說(shuō)“很貴”,。
使用這種方法,，可以進(jìn)行寬帶測(cè)量，大大降低了運(yùn)行成本,，并支持低環(huán)境負(fù)荷,。

GMi系列的特點(diǎn)

• 廣域測(cè)量可以測(cè)量
  從大氣壓到高真空區(qū)域（10 ⁵至5×10 ^-8 Pa）（當(dāng)同時(shí)使用GPM和GAM時(shí)）。

• 可以連接不同測(cè)量范圍的探頭，使用
  多離子規(guī)可以根據(jù)應(yīng)用選擇探頭,。

• 準(zhǔn)確的大氣壓測(cè)量
  輕松,，準(zhǔn)確地確認(rèn)大氣壓（使用GAM時(shí)）

• 支持低環(huán)境負(fù)荷由于
  僅在必要時(shí)可以更換接觸點(diǎn)，因此可以降低運(yùn)行成本,。

• 
  配備能檢查異常的LED 的能見(jiàn)度得到改善

• 
  易于維護(hù)更換探頭

• 每種模式（組合模式）的
  規(guī)格GMi + GPM（離子計(jì)+皮拉尼表）
  GMi + GPM + GAM（離子計(jì)+皮拉尼表+大氣壓傳感器）

• 測(cè)量值輸出信號(hào)
  壓力為0-10V輸出（對(duì)數(shù)輸出）

• 控制輸出信號(hào)
  設(shè)定值3點(diǎn)可輸出（GMi-1）

• 可以進(jìn)行串行通訊規(guī)格
  RS232C / RS485通訊（GMi-2）

• 符合
  CE標(biāo)準(zhǔn)

用途

• 用于各種制造設(shè)備（例如太陽(yáng)能電池,，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的高真空區(qū)域中的過(guò)程控制

• 確認(rèn)具有在線式和單晶圓式等多個(gè)處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力

• 高真空/超高真空設(shè)備壓力測(cè)量

日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計(jì)GMi系列

規(guī)范

每種模式的規(guī)格

GMi-1 / GMi-2可以從三種使用類型中選擇：?jiǎn)蝹€(gè)多離子壓力計(jì)模式，帶皮拉尼壓力計(jì)的組合模式以及帶皮拉尼壓力計(jì)和大氣壓傳感器的三重組合模式,。