CS300氣體質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌 七星華創(chuàng)
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2020/6/20 9:43:44
- 訪問次數(shù) 6916
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北京華丞電子有限公司（以下簡稱“華丞電子”）是由北京七星華創(chuàng)流量計(jì)有限公司,、北京七星華創(chuàng)集成電路裝備有限公司及北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司射頻業(yè)務(wù)單元整合而成的工業(yè)領(lǐng)域核心零部件及解決方案科技企業(yè),，華丞電子立足于集成電路、新能源等工業(yè)領(lǐng)域的科技前沿,，集聚了多項(xiàng)先進(jìn)零部件技術(shù)核心人才,，致力于成為一家全面的工業(yè)零部件解決方案供應(yīng)商。
華丞電子傳承了數(shù)十年在流量測控,、射頻技術(shù)和自動化設(shè)備等領(lǐng)域的專業(yè)優(yōu)勢,，技術(shù)積和創(chuàng)新能力。產(chǎn)品迭代升級的同時(shí),，華丞電子依據(jù)客戶新的產(chǎn)品需求不斷探索研究,，深挖技術(shù)，創(chuàng)新產(chǎn)品,，拓寬產(chǎn)品線,，形成了流量測控,、壓力測控,、氣路系統(tǒng)、射頻電源,、匹配器,、磁流體密封裝置、傳輸系統(tǒng),、自動化裝備等系列產(chǎn)品,，為半導(dǎo)體、光伏,、燃料電池,、真空鍍膜等領(lǐng)域提供解決方案。華丞電子布局六大研發(fā)/生產(chǎn)基地,，營銷服務(wù)體系覆蓋歐,、美、亞等全球主要國家和地區(qū),。
在新的征程上,，北京華丞電子有限公司將攜手所有合作伙伴，共同開創(chuàng)電子科技領(lǐng)域的新篇章,，為構(gòu)建智慧社會貢獻(xiàn)我們的力量,。
氣體質(zhì)量流量計(jì)、數(shù)字氣體流量計(jì),、氨氣流量控制器,、氧氣流量計(jì),、質(zhì)量流量控制器
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計(jì)專門為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上,，采用了基于DF的壓力信號補(bǔ)小償算法,，全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn),，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng),。
CS300氣體質(zhì)量流量控制器優(yōu)勢：
• 準(zhǔn)確度采用設(shè)定點(diǎn)精度,，產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.，響應(yīng)時(shí)間*快≤ 0.5sec,。
• CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補(bǔ)償功能,，對前段氣體壓力的擾動進(jìn)行有效的補(bǔ)償，減少壓力變化對瞬時(shí)流量影響,，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性,。
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償,，從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象,，保證了傳感器線性。
• 產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù),，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV,，CS300C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)5RA以下，嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造,。
技術(shù)參數(shù)
CS300 | ||||||||
型號 | CS310C | CS320C | CS310D | CS320D | ||||
閥類型 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 |
流量規(guī)格(N2) | (0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||||
準(zhǔn)確度 |
| |||||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||||
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |||||||
響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional） | |||||||
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
溫度系數(shù) | 零點(diǎn)：≤±0.02% F.S./℃,；調(diào)節(jié)時(shí)：≤±0.05% F.S./℃ | |||||||
耐壓 | 3.5 MPa | |||||||
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |||||||
密封材料 | 金屬密封 | |||||||
大工作壓力 | 0.45MPa | |||||||
工作環(huán)境溫度 | （0～50）℃ | |||||||
輸入信號 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | 無 |
輸出信號 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | |||||||
零漂 | 在沒有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年 | |||||||
電源 | ±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極) | |||||||
表面化學(xué)成分 | Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃） | - | ||||||
表面粗糙度 | Ra 5μinch | |||||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR1/4陽接頭,； | 1.5″B型密封接頭 | VCR1/4陽接頭,； | 1.5″B型密封接頭 | ||||
電源接頭形式 | D型9針陽接頭；D型15針陽接頭,；DeviceNet接頭 | |||||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg |
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