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英國雷尼紹RLD10差分干涉儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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日本進(jìn)口儀器儀表,,瑞士進(jìn)口儀器儀表,韓國進(jìn)口儀器儀表,,英國雷尼紹探頭探針

供貨周期 一個(gè)月以上 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,電氣,綜合

 

RLD10差分干涉儀

差分干涉儀允許測量相對于定義參考對象的位置變化,。

差分發(fā)射頭具有*的光學(xué)設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)極低的SDE性能。內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡可在設(shè)定過程中實(shí)現(xiàn)俯仰和扭擺角度調(diào)整,,從而改進(jìn)準(zhǔn)直過程(僅適合平面鏡應(yīng)用),。

RLD10-X3-DI發(fā)射頭可通過一個(gè)簡單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上。無需進(jìn)入工作腔即可校正光路,,內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡可對參考和測量光束的俯仰和扭擺進(jìn)行獨(dú)立的調(diào)整,,安裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)允許拆卸發(fā)射頭和調(diào)整發(fā)射頭位置,對系統(tǒng)準(zhǔn)直的影響極小,。

特性與優(yōu)點(diǎn)

  • 優(yōu)異的測量性能 — ppb穩(wěn)頻精度,,超低周期誤差,輸出分辨率達(dá)到38.6 pm,。
  • 差分配置 — 測量運(yùn)動(dòng)平臺相對于安裝立柱的位移,,從而消除常見模式誤差,例如與環(huán)境波動(dòng)有關(guān)的工作區(qū)側(cè)壁移動(dòng),。
  • 快速調(diào)節(jié)準(zhǔn)直 — 采用四個(gè)內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡,,很簡單地在真空室外部進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整,從而消除真空室和鏡組安裝公差,。

規(guī)格 

軸行程0 m - 1 m
分辨率(使用RLU配置)模擬正交 = λ/4 (158 nm)
數(shù)字正交 = 10 nm
RPI20分辨率 = 38.6 pm

系統(tǒng)非線性誤差* (SDE)

*不含接口

低于50 mm/sec且信號強(qiáng)度 > 70%時(shí) <±1 nm
1 m/sec且信號強(qiáng)度 > 50%時(shí) <±6 nm
速度可達(dá)1 m/s

通常使用雷尼紹RLU20來配置差分干涉儀發(fā)射頭,。RLU20激光源的高穩(wěn)定性結(jié)合差分干涉儀發(fā)射頭的高性能,必將成為真空室和其他空調(diào)嚴(yán)格控制環(huán)境中的應(yīng)用的理想選擇,。

 

 

英國雷尼紹RLD10差分干涉儀

英國雷尼紹RLD10差分干涉儀

 

 



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