V1000 等離子清洗機
- 公司名稱 上海熙浩實業(yè)有限公司
- 品牌 YAMATO/日本雅馬拓
- 型號 V1000
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/6/15 18:26:52
- 訪問次數(shù) 893
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滅菌器,,恒溫干燥箱,推拉力計,手電筒式紫外線燈,黑光燈,馬弗爐,高壓滅菌器,熒光蛋白激發(fā)光源,,超聲波測厚儀,紫外交聯(lián)儀,推拉力計,扭力測試儀,涂層測厚儀,,附著力檢測儀
產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)林牧漁,電子/電池 |
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雅馬拓等離子清洗機V1000產(chǎn)品特點:
■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-1000W高功率機型,DP和RIE標配的雙模等離子清洗儀器,,可對應更多復雜工藝.
●標準配備電離式真空計,,實時顯示真空度,,使得控制更為accurate。
●液晶觸摸屏控制,,操作使用簡單,,調(diào)取數(shù)據(jù)簡單。
■安全性·保護
●標準配備真空泄漏檢測功能,,可以根據(jù)需要檢查設備的真空以及泄漏情況,。
●裝載有過電流漏電保護、真空泵,、RF發(fā)生器,,以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。
●發(fā)生器保護回路:超負荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時,,可自動調(diào)低頻率來保護發(fā)生器,。
●門鎖開關:門在未*關閉時無法啟動電源。
●側(cè)板鎖:本體側(cè)板突然打開或者未關好時,,會停止電源,。
●緊急停止按鍵(EMO)標準配備。
●當裝置發(fā)生異常時,,裝置本體發(fā)出警告信號的同時,,進行以下動作1)關閉主閥。(2)關閉供氣閥,。(3)停止輸出振蕩器,。(4)停止處理時間。(5)聲光報警
■產(chǎn)品優(yōu)勢
●清洗效果好,,清洗效率高,,功率大,應用范圍廣,。
●DP&RIE雙模處理,,可對應更復雜的工藝。
●搭載高精度適配器,,高性能RF電源,。
●可變電極構造提高等離子處理效果。
●安全保護措施綿密,,有效防止對機器以及樣品的損害,。
●可根據(jù)需求的具體情況提供產(chǎn)品定制服務。
●硅晶圓的灰化及蝕刻,。
●基板表面污垢處理,。
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理,。
●半導體相關部品的電子材料的干式清洗,。
●自然氧化膜·有機物去除,。
●界面活性處理。
●表面污染物去除
雅馬拓等離子清洗機V1000產(chǎn)品參數(shù):
型號 | V1000 | |
方式 | DP&RIE雙模標準裝備 | |
性能 | 發(fā)生器功率: | 0-1000W |
發(fā)生器頻率: | 射頻RF13.56Mhz | |
發(fā)生器匹配方式: | 自動匹配(Automatching) | |
構成 | 腔體材質(zhì): | 鋁制腔體 |
腔體內(nèi)尺寸: | 400×400×384mm約61.4L | |
電極尺寸: | 300mm×300mm | |
反應氣體: | 雙路工藝氣體,,可支持氧氣,、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體 | |
填充氣體: | 一路氮氣 | |
控制方式: | 全自動控制,,5.7寸液晶觸摸屏 | |
真空度顯示: | 測量高真空的電離式真空計標準配備,,實時顯示腔體內(nèi)真空度 | |
配管材質(zhì): | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
門: | 鉸鏈門 | |
涂裝顏色: | 標準色,白系 | |
外形尺寸: | W700×D800×H1600mm(高度含警報燈) | |
真空泵: | 無油干式真空泵抽速100m3/hour,,吸氣口NW40,排氣口NW25 | |
電源規(guī)格: | 3phaseAC200V50/60Hz8A | |
重量: | 約215kg | |
附屬品 | 真空管件一套,、真空轉(zhuǎn)接接頭一套 |