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GS-300 晶圓測厚儀

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 大塚電子(蘇州)有限公司
  • 品牌 OTSUKA/日本大塚
  • 型號 GS-300
  • 產地
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2020/6/12 16:27:20
  • 訪問次數(shù) 1855

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!


大塚電子(蘇州)有限公司成立于20074月,,致力于讓中國客戶能安心使用已有50年歷史的日本大塚電子所研發(fā)與生產的測量與分析設備,。

我們的產品涵蓋LEDOLED等光源和照明行業(yè),,產品包括有液晶和有機EL顯示行業(yè)的光學特性評估與檢測設備,;用于測量半導體晶圓和薄膜化學品厚度的設備;以及評估墨水,、研磨劑,、醫(yī)藥和化妝品材料的納米顆粒(粒徑和ζ電位測量)設備,這些設備均應用了我們的“光”技術,。

在日本,,我們的產品擁有眾多交付實績,。為提供全面的售前和售后支持,我們設立了技術和維護中心,,努力提供快速,、令客戶滿意并能使客戶感受到關懷和價值的服務。

我們致力于不斷提升產品價值和支持服務,,做到讓客戶能主動向他人推薦大塚電子的產品,。

我們是大塚集團的一員,繼承了集團的企業(yè)理念「Otsuka-people creating new products for better health worldwide

以及大塚集團歷代的3個思想,,即「流汗悟道」「實證」「創(chuàng)造性」,,并以此行動。我們推出創(chuàng)新產品,,開展業(yè)務,,為社會做出貢獻。

對于那些挑戰(zhàn)可能性邊界的人來說,,天空是無限的,。超越它,就會有一個全新的前沿世界,。

利用大塚電子的技術“光”的力量,,為業(yè)界提供解決方案是我們的使命。

Otsuka-people creating new products for better health worldwide

傳承大塚的“實證與創(chuàng)造”精神,,時刻為了實踐“因為是大塚所以能做到”,、"只有大塚才能做到"的口號而努力奮斗。

大塚電子,,通過革新的且富有創(chuàng)造性的產品(設備)服務,,在「健康和生活」的領域,不斷地為人民的生活做著貢獻,。



zeta電位?粒徑?分子量測量系統(tǒng),,晶圓在線測厚系統(tǒng),線掃描膜厚儀,,顯微分光膜厚儀,,線掃描膜厚儀,分光干涉式晶圓膜厚儀,,相位差膜?光學材料檢測設備,,非接觸光學膜厚儀,小角激光散射儀,,多檢體納米粒徑量測系統(tǒng),,量子效率測量系統(tǒng)

產地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣

晶圓測厚儀特點:

  • 可整合至300mm設備前端模組(EFEM)單元預備端口
  • 實現(xiàn)嵌入晶片中的布線圖案的對準(IR相機)
  • 可對應半導體制造的高生產量要求
  • 可支持預對準校正功能
  • 緊湊模式(W475mm×D555mm)

 

GS-300晶圓測厚儀技術參數(shù):

名稱

Rθ驅動

mapping系統(tǒng)

高精度X-Y驅動

mapping

搭載對應

mapping系統(tǒng)

型式SF-3RθSF-3AASF-3AAF
stage方式Rθ stageX-Y stageRθ XY
光學系probe+CCD cameraprobe+CCD camera同軸顯微head+IR camera
大晶圓尺寸mm300以下300以下僅300
晶圓角度補正
圖案對位
晶圓厚度范圍

SF-3厚度感應器

參照式樣

SF-3厚度感應器

參照式樣

SF-3厚度感應器

參照式樣

裝置尺寸(本體)

W×D×H

約465×615×540約510×700×680約475×555×1620

裝置尺寸(控制)

W×D×H

約430×450×210約500×177×273約475×555×1620

 

 

 

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