GS-300 晶圓檢測設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 大塚電子（蘇州）有限公司
品牌 OTSUKA/日本大塚
型號 GS-300
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2020/6/12 16:10:00
訪問次數(shù) 2016

產(chǎn)品標(biāo)簽

晶圓厚度晶圓厚度檢測晶圓在線測厚晶圓檢測

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公司介紹 主營產(chǎn)品

大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評價(jià)·檢查的裝置。其裝置用于在LED,、 OLED,、汽車前燈等的光源·照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相關(guān)材料的光學(xué)特性評價(jià)·檢查,。

　　以高速·高精度·高可靠性且有市場實(shí)際應(yīng)用的分光器MCPD系列為基礎(chǔ),，在中國的顯示器市場上有著20年以上銷售實(shí)例，為許多廠家在研究開發(fā),、生產(chǎn)部門所使用,。并且在光源·照明相關(guān)方面，對研究機(jī)構(gòu),、各個(gè)廠家的銷售量在逐步擴(kuò)大,。

　　在中國的蘇州有設(shè)立售后服務(wù)點(diǎn)，為了能迅速且周到的為顧客服務(wù)而努力,。

　　我公司的母公司日本大塚電子集團(tuán),，隸屬于大冢集團(tuán)，一直以來都謹(jǐn)守大冢集團(tuán) 的企業(yè)理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢為人類的健康創(chuàng)造革新的產(chǎn)品),，不斷的推出創(chuàng)新產(chǎn)品,，面向開展業(yè)務(wù)，為社會(huì)作出貢獻(xiàn),。

展開

zeta電位?粒徑?分子量測量系統(tǒng),，晶圓在線測厚系統(tǒng)，線掃描膜厚儀,，顯微分光膜厚儀,，線掃描膜厚儀,，分光干涉式晶圓膜厚儀，相位差膜?光學(xué)材料檢測設(shè)備,，非接觸光學(xué)膜厚儀,，小角激光散射儀，多檢體納米粒徑量測系統(tǒng),，量子效率測量系統(tǒng)

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

產(chǎn)地類別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	面議
應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,印刷包裝,電氣

晶圓檢測設(shè)備 GS-300 搭載圖案對準(zhǔn)功能,，X-Y位置確認(rèn)精度2μm以下。

特點(diǎn)

可整合至300mm設(shè)備前端模組（EFEM）單元預(yù)備端口
實(shí)現(xiàn)嵌入晶片中的布線圖案的對準(zhǔn)(IR相機(jī))
可對應(yīng)半導(dǎo)體制造的高生產(chǎn)量要求
可支持預(yù)對準(zhǔn)校正功能
緊湊模式（W475mm×D555ｍｍ）

測定事例

硅通孔技術(shù)（TSV）嵌入圖案晶圓研磨后的厚度
12寸（300ｍｍ）晶圓厚度

晶圓檢測設(shè)備技術(shù)參數(shù)

名稱	Rθ驅(qū)動(dòng) mapping系統(tǒng)	高精度X-Y驅(qū)動(dòng) mapping	搭載對應(yīng) mapping系統(tǒng)
型式	SF-3Rθ	SF-3AA	SF-3AAF
stage方式	Rθ stage	X-Y stage	Rθ XY
光學(xué)系	probe+CCD camera	probe+CCD camera	同軸顯微head+IR camera
大晶圓尺寸mm	300以下	300以下	僅300
晶圓角度補(bǔ)正	無	有	有
圖案對位	無	有	有
晶圓厚度范圍	SF-3厚度感應(yīng)器參照式樣	SF-3厚度感應(yīng)器參照式樣	SF-3厚度感應(yīng)器參照式樣
裝置尺寸（本體） W×D×H	約465×615×540	約510×700×680	約475×555×1620
裝置尺寸（控制） W×D×H	約430×450×210	約500×177×273	約475×555×1620