FE-3 嵌入式膜厚檢測(cè)儀
- 公司名稱 大塚電子(蘇州)有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大塚
- 型號(hào) FE-3
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2020/6/12 16:14:31
- 訪問次數(shù) 931
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zeta電位?粒徑?分子量測(cè)量系統(tǒng),,晶圓在線測(cè)厚系統(tǒng),線掃描膜厚儀,,顯微分光膜厚儀,,線掃描膜厚儀,,分光干涉式晶圓膜厚儀,相位差膜?光學(xué)材料檢測(cè)設(shè)備,,非接觸光學(xué)膜厚儀,,小角激光散射儀,多檢體納米粒徑量測(cè)系統(tǒng),,量子效率測(cè)量系統(tǒng)
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 20萬-50萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,印刷包裝,電氣 |
嵌入式膜厚檢測(cè)儀 FE-3
嵌入式膜厚檢測(cè)儀可高精度測(cè)量具有波長(zhǎng)依存性的多層膜,!
產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
•采用分光干涉法
•搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)
•使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測(cè)量系統(tǒng)
•可嵌入至各種制造設(shè)備,。
•實(shí)時(shí)測(cè)量膜厚
•可對(duì)應(yīng)遠(yuǎn)程操作,、多點(diǎn)測(cè)量
•采用壽命長(zhǎng)、安全性高的白色LED光源
測(cè)量項(xiàng)目
·多層膜厚解析
用 途
•光學(xué)薄膜(超硬涂層,、AR薄膜,、ITO等)
•FPD相關(guān)(光刻膠、SOI,、SiO2等)
設(shè)備構(gòu)成
單點(diǎn)型
•半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測(cè)量
•玻璃基板的面內(nèi)分布測(cè)量
多點(diǎn)型
•實(shí)時(shí)測(cè)量
•流向品質(zhì)管理
•真空室適用
導(dǎo)線型
•實(shí)時(shí)測(cè)量
•寬度方向品質(zhì)管理
測(cè)量案例
超硬涂層的膜厚解析