MDPspot 圓晶片和晶錠單點壽命檢測儀
| 參考價 | ￥ 1000 |
| 訂貨量 | ≥1 臺 |
- 公司名稱 江蘇維林科生物技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 MDPspot
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2020/5/12 11:31:25
- 訪問次數(shù) 2654
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,地礦,能源,電子,冶金 | 組成要素 | 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品及設(shè)備 |
低成本的臺式壽命測量系統(tǒng)，可在不同的制備階段表征各種不同的硅樣品,，沒有內(nèi)置的自動化,。可選配手動z軸,，用于厚度在156毫米以下的晶錠,。結(jié)果可視化的標(biāo)準(zhǔn)軟件,。
MDPspot包括一個額外的電阻率測量選項。電阻率測量僅適用于硅,，可用于沒有高度調(diào)整可能性的晶圓片,，也可用于晶錠。須預(yù)定義這兩個選項之一,。
特性
· 無接觸破壞的電子半導(dǎo)體特性
μ-PCD測量選項
外延片不可見的缺陷和檢測的靈敏度的可視化
集成多達(dá)四個激光器適用于一個廣泛的注射水平
獲取單一瞬態(tài)的原始數(shù)據(jù)以及用于特殊評估目的的圖
優(yōu)勢
· 用于不同制備階段，從成體到終器件,，多晶硅或單晶硅單點測量載流子壽命的臺式裝置,。
· 體積小,，成本低，使用方便,。擁有一個基本的軟件,，結(jié)果可視化。
適用于晶圓片到晶錠,，易于高度調(diào)整。
技術(shù)參數(shù)
樣品 | 不同的處理步驟,，如鈍化或擴散后的單晶或多晶硅晶圓,、晶錠、電池,、晶圓 |
樣品尺寸 | 50 x 50 mm2 到12“ 或210 x 210 mm2 |
電阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
材質(zhì) | 硅晶圓，晶錠,，部分或全部加工晶圓,，復(fù)合半導(dǎo)體和更多其它類型 |
檢測性能 | 載流子壽命 |
尺寸 | 360 x 360 x 520 mm，質(zhì)量：16 kg |
電源 | 110/220 V, 50/60 Hz, 3 A |
其它細(xì)節(jié)
· 允許單片調(diào)查
不同種類的晶圓片有不同的菜單
監(jiān)控材料,、工藝質(zhì)量和穩(wěn)定性
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