原位MEMS-STM-TEM樣品桿多場測量系統(tǒng)產(chǎn)品是一種革命性的原位透射電子顯微鏡實驗系統(tǒng)，使研究者可以在透射電子顯微鏡中構(gòu)建一個可控的多場環(huán)境（包括力,、熱,、光、電等）,，從而對材料或者器件等樣品實現(xiàn)多重激勵下的原位表征,。

原位MEMS-STM-TEM樣品桿多場測量系統(tǒng)性能指標(biāo)

透射電鏡指標(biāo)：

● 兼容電鏡型號及極靴；

● 可選雙傾版本,，雙傾電學(xué)測量樣品桿Y軸傾角±25°（同時受限于極靴間距）,；

電學(xué)測量指標(biāo)：

● 包含一個電流電壓測試單元；

● 電流測量范圍：１ nA-30 mA,，9個量程,；

● 電流分辨率：優(yōu)于100 fA；

● 電壓輸出范圍：普通模式±10 V,，高壓模式±150 V,；

● 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量,，自動保存,。

掃描探針操縱指標(biāo)：

● 粗調(diào)范圍：XY方向2.5 mm,，Z方向1.5 mm；

● 細(xì)調(diào)范圍：XY方向18 um,，Z方向1.5 um,；

● 細(xì)調(diào)分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm,。

光纖指標(biāo)：

● 多模光纖外徑250 um,，保證電鏡系統(tǒng)真空指標(biāo)；

● 可選光纖探針,、平頭光纖,；

● 配備快速SMA接頭、FC接頭,。

加熱指標(biāo)：

● 溫度范圍：室溫到1000 ℃,；

● 溫度準(zhǔn)確度優(yōu)于 5% ；

● 溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1 ℃,。

產(chǎn)品特色

可通過簡單更換MEMS芯片種類以及不同STM探針為樣品施加zui多四種激勵,，實現(xiàn)多種復(fù)雜的測試功能，完成以往無法實現(xiàn)的研究,。

（1）高溫拉伸/壓縮（加熱芯片+電學(xué)STM探針）,；

（2）熱電子發(fā)射/場發(fā)射（加熱芯片+電學(xué)STM探針）；

（3）三端器件測量（電學(xué)芯片+電學(xué)STM探針）,；

（4）電致發(fā)光現(xiàn)象研究（電學(xué)芯片+光學(xué)STM探針）,；

（5）光電現(xiàn)象研究（電學(xué)芯片+光學(xué)STM探針）。