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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>凈化/清洗/消毒>等離子清洗機>V1000/1000X/1000XS 日本雅馬拓等離子清洗機V1000/1000X/1000XS

V1000/1000X/1000XS 日本雅馬拓等離子清洗機V1000/1000X/1000XS

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柜谷科技發(fā)展(上海)有限公司專注于為科研工作者和質量控制人員提供一站式實驗室產品與配套服務,,致力于成為科學服務領域的者與變革者,。公司通過自主研發(fā)、品牌運營,、品牌代理,、實驗室設計規(guī)劃方案等方式為生物醫(yī)藥、新材料,、新能源,、化工化學、精細化工,、食品日化,、分析檢測等領域的實驗室提供多方位的綜合服務,覆蓋客戶的研發(fā)準備,、研發(fā)過程,、研發(fā)后期、生產質控等各個階段,,提供“一站式”有競爭力的產品和服務,,是國內的科學服務提供商,。(本公司產品都用于實驗室設備,不用于人體)

為什么選擇我們,?

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我們建立“安枕無憂”的售前、售后服務體系,,提供信息咨詢,、技術支持和維保服務,為您的實驗室運營保駕護航,。

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我們的市場

高校  研究院

新能源 膠粘劑 石化 油漆涂料

制藥 生命科學

粘度計,流變儀,紅外光譜儀,擠出機,紫外分光光度計,X射線衍射儀

產地類別 進口 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,食品/農產品,化工,制藥/生物制藥

日本雅馬拓等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS 

13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機,,搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式 高性能型號,,調取數據簡單,,以電子材料為中心,可對應 多種用途,。
特征
●  可變更電極構造提高等離子效果,。
●  搭載高精度適配器,,高性能RF 電源。
●  可根據需求規(guī)格提供定制,。

用途
●  硅晶圓的灰化及蝕刻
●  基板表面污垢處理
●  IC/LED封裝,、BGA/CSP基板處理
●  半導體相關部品的電子材料的干式清洗
●  自然氧化膜·有機物去除
●  界面活性處理
●  表面污染物去除

日本雅馬拓等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS 內槽

日本雅馬拓等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS 規(guī)格
 

型號V1000V1000XV1000XS
等離子模式DP/RIE
高頻電源13.56MHz
輸出功率Max1000WMax1000 & 1500W
有效電極尺寸W280×D280mmW300×D300mmW400×D375mm
電極平行平板2段電極(獨立)平板(多目的)
反應氣體聚合控制器2系統(tǒng)(填充氣路另行安裝)
真空泵(標配)約1000L/min約1500L/min1000 & 1500L/min
安全裝置門檢測開關、聯鎖機構,、緊急停止開關,、溫度過升防止器等


管路連接圖



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