PARKER派克隔膜閥產(chǎn)品描述：

作為儀器儀表流體控制系統(tǒng)技術(shù)的行業(yè)*,，派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥提供優(yōu)良的泄漏完整性,，高循環(huán)壽命，以及低的粒子生成,，從真空應(yīng)用到3500 psig壓力范圍可用,。它適用于超高壓半導(dǎo)體應(yīng)用，包括高壓工藝線,、氣體控制柜和閥門分配箱系統(tǒng)（VMBS）,。 

派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥可以選擇手動(dòng)或氣動(dòng)操作。這兩個(gè)選項(xiàng)都是內(nèi)部無(wú)彈簧和無(wú)螺紋設(shè)計(jì),，這使顆粒產(chǎn)生和捕獲更小化,，從而減少了過(guò)程污染。閥門的嚴(yán)格設(shè)計(jì)控制閥座和膜片的應(yīng)力,，提供穩(wěn)定和免維護(hù)的使用壽命,。該閥還具有壓縮構(gòu)件，其均勻地加載密封件，而不需要螺紋部件或壓接操作,。

945系列不銹鋼隔膜閥沾濕組件由特殊金屬制造,，以提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥門本體是由Veriflo的的內(nèi)部電解拋光316L不銹鋼材質(zhì)生產(chǎn)而成,。膜片是一種高強(qiáng)度鈷基合金,。閥座材料可在PCTFE，PEEK™ 或Vespel® 這些選項(xiàng)中選擇,，這允許945系列用于廣泛的危險(xiǎn)和惰性工藝流體,。這些材料，結(jié)合閥門嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn),，在工作壓力高達(dá)3500 psig時(shí),，具有很高的耐腐蝕性和優(yōu)良的穩(wěn)定性。氣動(dòng)選項(xiàng)可以配置為提供具有限位開(kāi)關(guān)的開(kāi)閉位置指示,。

945個(gè)系列不銹鋼隔膜閥門都是在100級(jí)潔凈室制造的,。內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封是使用質(zhì)譜儀氦氣泄漏測(cè)試，以實(shí)現(xiàn)在要求UHP超高純應(yīng)用環(huán)境的使用性能和穩(wěn)定性,。 

PARKER派克隔膜閥特點(diǎn)/優(yōu)勢(shì)： 

• 在管材上加工,，這允許改進(jìn)尺寸控制。 
• 5微米（Ra）電拋光表面光潔度 
• 高循環(huán)壽命（包括腐蝕性應(yīng)用工況） 
• 內(nèi)部無(wú)彈簧和無(wú)螺紋設(shè)計(jì)使顆粒產(chǎn)生和氣體捕獲更小 
• 全功能化設(shè)計(jì)從真空到300psig可用
• 內(nèi)部泄漏率：小于1×10-9 SCC/SEC 
• 外部泄漏率：小于2×10-10SCC/SEC
• 75 PSIG常開(kāi)常關(guān)氣動(dòng)AOP執(zhí)行壓力（大值） 

PARKER派克隔膜閥典型應(yīng)用： 

• 腐蝕性和特殊性氣體 
• 半導(dǎo)體設(shè)備 
• 半導(dǎo)體設(shè)備二次配管
• 氣體控制柜 
• 閥門分配箱系統(tǒng)（VMB）

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