UIH-3D鹵素?zé)艄庠囱b置日本INTECS

目的,，用途

UIH-3D通常，對(duì)半導(dǎo)體晶片,，掩模玻璃等進(jìn)行目視檢查會(huì)發(fā)現(xiàn)劃痕,，灰塵，內(nèi)部異物和氣泡,。

發(fā)現(xiàn)需要技巧,。開發(fā)該設(shè)備是為了方便進(jìn)行這些檢查。

通過用高強(qiáng)度的光照射物體（* 1）,，會(huì)產(chǎn)生切痕現(xiàn)象,，并且會(huì)產(chǎn)生劃痕，灰塵等,。

您可以檢查灰塵,，內(nèi)部異物，氣泡等的附著力,。

* 1半導(dǎo)體晶片,，掩模玻璃，光學(xué)零件,，透鏡等

一種用于無損測(cè)量半導(dǎo)體晶片橫截面形狀尺寸的設(shè)備,。您可以測(cè)量晶圓邊緣的尺寸，角度和半徑UIH-3D

超高輝度検査用照明裝置（ＵＩＨ－３Ｄ型） 

 目視検査用の超高輝度照明裝置

ＵＩＨ－３Ｄ型仕様

※１　ランプ保護(hù)の為,、主電源スイッチをＯＦＦにしてもランプハウス內(nèi)の溫度が約40℃以下になるまで
　　　 ファンによる冷卻を保持する機(jī)能

 撮像管タイプの半導(dǎo)體ウエハー斷面形狀等測(cè)定裝置（ＶＳＳＷ）をご使用のお客様に朗報(bào)！

 半導(dǎo)體ウエハーの斷面形狀寸法を非破壊で計(jì)測(cè)するための裝置でエッジの寸法,、角度,、半徑を測(cè)定することが出來ます,。
測(cè)定可能なウエハーサイズは約２～１２インチで、ウエハー交換作業(yè)も容易に行えます

照明設(shè)備超高亮度檢查使用手冊(cè)

用于超高亮度檢查的照明裝置，型號(hào)名稱UIH（超高強(qiáng)度鹵素?zé)簦?/span>

感謝您購買該系列,。

請(qǐng)仔細(xì)閱讀本手冊(cè),，以大程度地發(fā)揮儀器的性能。

§1,。目的和整體構(gòu)成

該儀器是用于目視檢查的超亮照明設(shè)備,。 UIH-1,2,3類型是常見的

用于目視檢查半導(dǎo)體晶片，掩模玻璃,，光學(xué)部件等,，表面劃痕，灰塵或內(nèi)部

通過照射高強(qiáng)度光來進(jìn)行潮汐檢測(cè),，以發(fā)現(xiàn)零件中的異物和氣泡

（TYNDALL）它誘導(dǎo)大象并促進(jìn)發(fā)現(xiàn),。

1H型系列不同，用于檢查拋光晶片的霧度（霧量）和照射表面

這是投射第3條的檢查標(biāo)記的方法,。

至于整體配置，所有這四種類型都分為兩部分,，一個(gè)是燈箱,，另一個(gè)是電源單元。要么

至于支架,，電源部分中只有1（H）型是自支撐式的,，而第二和第三類型則使用獨(dú)立的支架。

我是,。各種類型的輻照直徑,，高度和角度均可自由調(diào)節(jié)。

§2,。儀器特點(diǎn)

本儀器使用由我們專門設(shè)計(jì)和調(diào)整的特殊高強(qiáng)度鹵素?zé)?。這些

鹵素?zé)粼谑褂脮r(shí)具有用于照明，滅火和冷卻方法的*技術(shù),。

是必須的,。即，如果忽略適合于燈的方法,，則燈的壽命將大大縮短,。因此電源

該零件旨在充分展示燈泡的功能,。

鏡頭使用大直徑非球面鏡頭，并具有專門為此儀器設(shè)計(jì)的制造方法,，其亮度也達(dá)到了

除了1H類型以外,，由于將其設(shè)置為0.71至0.92，我們成功提高了亮度,。 1個(gè)

與其他強(qiáng)調(diào)亮度的聚光鏡相比,，將H型設(shè)定為具有強(qiáng)調(diào)成像的亮度。下屬

投影出具有良好分辨率的檢查標(biāo)記,。此外,，所有型號(hào)的設(shè)計(jì)輻射直徑幾乎都是平行的。

光束增強(qiáng)了檢查能力,。

此外,，應(yīng)采取所有可能的措施來散熱，尤其是對(duì)于類型2和類型3,，要監(jiān)測(cè)燈室內(nèi)的發(fā)熱并發(fā)生異常,。

產(chǎn)生熱量時(shí)，燈泡將被強(qiáng)制關(guān)閉,。另外,，請(qǐng)參閱附件中的外形圖。

 §３．仕様 本器の仕様は次の通りです,。 尚,、（ ）內(nèi)は１Ｈ型のみの仕様です。 名 稱 超高輝度検査用照明裝置 ［Ultra Intensity Halogen-light］ 形 式 ＵＩＨ－１(Ｈ) ＵＩＨ－２ ＵＩＨ－３ ラ ン プ 定 格 １５Ｖ １５０Ｗ １００Ｖ ３００Ｗ １００Ｖ ６５０Ｗ 高輝度壽命 ５０時(shí)間以上 ７５時(shí)間以上 ７５時(shí)間以上 半 輝 度 壽 命 ８００時(shí)間以上 １０００時(shí)間以上 １８００時(shí)間以上 反 射 鏡 徑 ５０mm徑放物線型ダイクロックミラー 同１００mm徑 設(shè)計(jì)照射徑と距離 ４０mmφで１８０mm ７０mmφで２００mm １００mmφで２７０mm 設(shè)計(jì)照射徑輝度 上記中央で６０萬lux（５萬lux） 同４０萬lux 同３０萬lux ５０萬lux時(shí)照射徑 約 ４５mmφ 約 ６０mmφ 約 ８０mmφ

 倍徑時(shí)距離, 輝度 ３６０mm,１５萬lux ４００mm,１０萬lux ５６０mm,７?５萬lux 輝度偏差と可変幅 高輝度偏差は上限１０％,、下限２０％で可変幅は１０：１以上 レ ン ズ φ＝３８ Ｆ＝０.９２ （Ｆ＝２） φ=７０ Ｆ=０.７８ 電 源 方 式 トランス式 セミトランス式 調(diào) 光 方 式 ＳＣＲ位相制御 ＳＣＲ制御で５０／６０Ｈｚ自動(dòng)切り替え ス タ ン ド 自立型 獨(dú)立型 冷 卻 方 法 強(qiáng)制空冷式 電 圧 表 示 メーター指示 ダイヤルにて設(shè)定 點(diǎn) 燈 方 式 ?????????に適した???????,???????方式 防熱フィルター なし １段 発 熱 監(jiān) 視 なし 異常加熱(2型約100℃ 3型約130℃)により強(qiáng)制消燈 冷卻自動(dòng)スイッチ なし 消燈後一定溫度(約40℃)迄下がると自動(dòng)停止 合 計(jì) 重 量 ７Ｋｇ ９Ｋｇ １３Ｋｇ 外 形 ７ページ參照 

如何組裝該儀器

如附圖所示,，此系列對(duì)于三個(gè)參與方中的每個(gè)都有不同的形式。查看每種類型的圖紙

我將考慮考慮進(jìn)行解釋,。

4-1組裝1（H）型在1（H）型中,，電源單元也用作支架。

將較長的軸插入電源的上法蘭,，然后將底部和法蘭螺釘總共固定3個(gè)點(diǎn),。

我會(huì)。接下來,，將短軸在任何位置擰入燈箱的底板,，然后用夾具將其固定。

去做,。此時(shí),，請(qǐng)考慮重力平衡和燈罩的可加工性進(jìn)行組裝。抽水

將螺絲刀等插入門另一端的孔中以將其固定,。連接器的電源插頭是電源

確保未連接并安裝完成,。僅1（H）類型的大亮度

帶有調(diào)整修剪器,。方法是將光量調(diào)節(jié)旋鈕“ INTENSITY”設(shè)置為“ MAXIMUM”。

將燈泡開關(guān)設(shè)置為“ LAMP ON”時(shí),，將背面的“ SUB-INTE”設(shè)置為大電壓為15V,。

設(shè)置在不超過的范圍內(nèi)。出廠時(shí)已將其調(diào)整為50Hz的12V,。

4-2類型2的組件類型2分為三個(gè)部分：支架,，電源和燈箱。

首先,，考慮到重力平衡和可操作性,，將軸安裝在機(jī)架上的三個(gè)孔之一中。

與1（H）型一樣,，燈罩的軸固定在底板上,，并帶有夾具。

將其固定到船尾,。將電源放在支架上或支架上,，連接連接器，然后完成,。

我會(huì),。

4-3組裝類型3與類型2一樣，類型3分為支架,，電源和燈罩,。

我會(huì)。至于支架的組裝,，與類型2一樣,，豎立軸時(shí)要考慮平衡性和可加工性。

與其他類型不同,，類型3燈罩特別大,，因此請(qǐng)注意重量平衡,。

請(qǐng),。組裝時(shí)，將軸穿過燈箱底板上梯形金屬配件的孔,，并用4個(gè)螺絲將其固定,。

用夾具將其安裝到支架軸上。將電源放在支架上或支架周圍

連接Nector并完成

儀器的基本操作

由于照明方法的不同,，本機(jī)的操作在類型1（H）和類型2和3之間有所不同,。所有產(chǎn)品都是正確的

注意輪廓圖的照射距離和直徑。

5-1 1（H）型操作電源裝置中央的旋鈕“ INTENSITY”作為電源開關(guān)加倍,，為“ PO”,。

如果從“ WER OFF”將其向右旋轉(zhuǎn),，您會(huì)聽到喀噠聲，并且指示燈會(huì)亮起,，并且燈泡將被預(yù)熱并變暗,。

我會(huì)。接下來,，將光量選擇器開關(guān)從'STANDING BY'更改為'LAMP ON'和'INTENSITY'旋鈕,。

您可以調(diào)節(jié)光量。當(dāng)燈熄滅時(shí),，將光量選擇器開關(guān)設(shè)置為“ STANDING BY”以提高冷卻效果,。

請(qǐng)?jiān)趲追昼姾?ldquo;關(guān)閉電源”以擺脫它。

5-2 2型和3型的操作2型和3型的操作非常容易,，操作員可以打開電源開關(guān),。

您所要做的就是按下gar開關(guān)。首先,，打開電源開關(guān)“ POWER”并運(yùn)行霓虹燈

Pu發(fā)出紅色光,。然后按下觸發(fā)開關(guān)“ LAMP ON / OFF”，“ MONITOR”燈將點(diǎn)亮,。

它變成綠色,，并且燈箱的燈同時(shí)點(diǎn)亮。在這種狀態(tài)下燈箱內(nèi)部異常

加熱時(shí),，將“監(jiān)視器”更改為紅色,，強(qiáng)行關(guān)閉燈泡，并在燈泡冷卻至一定程度時(shí)

此時(shí),，紅色指示燈熄滅,，可以再次打開。另外,，如有必要,，電壓調(diào)節(jié)器“ INTENSITY”

轉(zhuǎn)。 *電源電壓為AC100V時(shí),，旋鈕位置約為9.5,，這是高亮度。

要關(guān)閉燈泡,，請(qǐng)?jiān)俅伟?ldquo; LAMP ON / OFF”按鈕以關(guān)閉燈泡,。開啟或關(guān)閉時(shí)

關(guān)閉電源后，風(fēng)扇將繼續(xù)旋轉(zhuǎn),，直到冷卻至一定溫度為止,。冷卻進(jìn)度

“ MONITOR”將閃爍紅色，直到開關(guān)自動(dòng)停止。

5-3聚焦調(diào)整和亮度此項(xiàng)目與以前的型號(hào)相同,。調(diào)焦位于燈箱的頂端

轉(zhuǎn)動(dòng)聚焦環(huán)進(jìn)行調(diào)整,。放置工件并用光照射時(shí)，會(huì)發(fā)出圓形光,。

轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán),，使其輪廓清晰可見。聚焦對(duì)于1H類型是否特別重要,？

請(qǐng)注意照射直徑由聚焦環(huán)和照射距離決定,，亮度由照射直徑和行程決定。

這取決于電壓,。即,，當(dāng)燈電壓恒定時(shí)的亮度與照射距離（面積）的平方相反。

成比例的,。因此,，如果優(yōu)先考慮亮度，則好將其設(shè)置為較小的直徑

用例和應(yīng)用

該儀器是用于目視檢查的超亮照明設(shè)備,。通常半導(dǎo)體晶圓和塊

為了目測(cè)玻璃表面的劃痕和灰塵或內(nèi)部的異物和氣泡,，請(qǐng)目視檢查玻璃等。

它要求非常高的技能,。這些檢查被明亮的光線照亮

（TYNDALL）誘發(fā)現(xiàn)象并使任何人都容易進(jìn)行,。

使用此設(shè)備的示例是不透明的鏡面，例如半導(dǎo)體晶片,；（1）該表面暴露于一定角度的光下,。

如何去除眼睛的反射光進(jìn)行檢查（2）對(duì)角向表面施加光并將反射光施加至白墻或

如何在白色天花板上投影，以及如何投影透明材料（例如玻璃）

可以同時(shí)檢查表面和內(nèi)部,。另外,，②使用特殊檢查方法在墻壁上使用特殊的篩網(wǎng)。

通過在樣品和樣品之間插入特殊的透鏡,，可以進(jìn)一步改善效果,。

當(dāng)然，這些只是一般用法示例,，但是當(dāng)前情況是每個(gè)公司都使用自己的方法進(jìn)行檢查,。

現(xiàn)實(shí)情況是它們本身被用作專有技術(shù)。我們建議您設(shè)計(jì)各種東西,。

1H型在系列中有所不同,，用于檢查拋光晶片的霧度（渾濁）量,。 JIS-

在H0614的鏡面檢查方法中,，采用投射燈絲的方法，但是1H

在模具中，投影了三個(gè)標(biāo)記而不是丘陵,。由于此標(biāo)記的亮度不同

檢查是,。也就是說，無法在完美的鏡面上看到該標(biāo)記,，并且由于標(biāo)記不完整,，因此看起來更好。

我會(huì)

另外,，該標(biāo)記與周圍的亮度差異很大,，易于進(jìn)行霧度檢查，并且除該標(biāo)記以外的其他周圍環(huán)境

由于用高強(qiáng)度光照射,，因此可以同時(shí)進(jìn)行表面檢查,。

§7。生活與光明

壽命是大亮度壽命和半亮度壽命的參考值,，因此電源電壓

意味著它將波動(dòng)很大,。另外，亮度與照射面積成反比,，因此壽命長,。

如果您主要考慮的是，請(qǐng)盡可能減小照射面積,，并隨燈電壓降低增加的亮度,。

這將是有利的。為了延長使用壽命,，請(qǐng)降低燈泡電壓,，并且不要將亮度提高到不必要的程度。

請(qǐng)這樣做,。

§8,。使用注意事項(xiàng)

本節(jié)介紹使用注意事項(xiàng)，因此,，請(qǐng)?jiān)诔浞掷斫夂笤偈褂煤荛L時(shí)間,。

1）燈泡是生活用品。要長期使用,，請(qǐng)降低燈泡電壓并集中使用,。

是個(gè)好主意。不要忘記準(zhǔn)備備件,！ !!

1）我們已采取一切可能的措施從燈罩中產(chǎn)生熱量,，但是特別是類型3產(chǎn)生的熱量為650W。

因?yàn)橛?，在一個(gè)小的暗室中室溫可能會(huì)升高,。您需要足夠的冷卻

我們開始做吧。

3）由于長期使用，燈箱周圍會(huì)產(chǎn)生一些熱量,。調(diào)焦環(huán)

觸摸外殼時(shí)請(qǐng)小心,。

4）指示燈點(diǎn)亮?xí)r，請(qǐng)勿強(qiáng)烈沖擊,。當(dāng)然,，它是嚴(yán)格堅(jiān)持運(yùn)動(dòng)的。

5）僅適用于2和3型,，請(qǐng)?jiān)跓絷P(guān)閉后顯示“ MONITOR”燈時(shí)拔下電源插頭,。

請(qǐng)不要成對(duì)拔出。當(dāng)溫度降至安全溫度時(shí),，電源將自動(dòng)關(guān)閉,。

6）在燈罩外蓋打開的情況下進(jìn)行照明會(huì)影響冷卻效果，并導(dǎo)致設(shè)備損壞,。

請(qǐng)不要這樣做,。

7）燈箱和電源是組合調(diào)整的，因此如果更改組合

不會(huì)滿足