UL5000移動式氦氣檢漏儀（干式）

inficon UL5000檢漏儀維修

ULTRATEST™傳感器技術

定義泄漏檢測的速度和準確性

INFICON UL5000氦氣檢漏儀旨在滿足關鍵和苛刻的檢漏應用。UL5000在經過現(xiàn)場驗證的真空設計中采用了INFICON專有軟件算法I-CAL和Hydro-S,，可提供測試靈活性,，高靈敏度和快速準確的結果，從而使任何泄漏檢測應用都變得便捷,。

UL5000在所有測量范圍內均提供快速響應時間,，在達到測試條件和終結果時，循環(huán)時間極短,。特殊設計的真空架構可提供持續(xù)的高氦氣抽速和所需的極快響應時間,。

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優(yōu)點

HYDRO-S（氫抑制）可快速達到測試條件。

I-CAL（智能-泄漏率計算算法）可確?？焖夙憫袦y量范圍內的泄漏,。

一種特殊的多入口渦輪分子泵，可在所有壓力下提供優(yōu)化的高氦抽速和高氦壓縮率,，以提供出色的靈敏度,，響應和快速清理。

增壓渦輪分子泵,，可對任何測試對象（包括大的容積和大的腔室）做出極快的響應,。

經過多年現(xiàn)場驗證的INFICON磁性扇形質譜儀可實現(xiàn)*，免維護的多年準確而可重復的結果,。

自我保護功能可保護UL5000免受氦氣和微粒污染,，甚至具有自動吹掃周期，以確保在需要時可以準備好UL5000,。

可旋轉的顯示/控制界面和可選的遠程手持控制器,，具有操作靈活性。

可以通過該軟件啟用對單元和系統(tǒng)軟件的訪問控制,，以防止未經*的使用或對測試設置的意外修改,。

通過電子郵件進行軟件更新，以使您的UL5000保持佳性能,。

工作站設計具有佳高度的工作表面,，包括ESD墊和工具箱，以方便測試,。

典型應用

半導體和平板顯示工具上使用的組件,，組件和大容器的泄漏測試

半導體和平板工具的泄漏測試

航空航天零部件，組件和系統(tǒng)的泄漏測試

儲存容器/儲存罐的泄漏測試

技術指標

類型 UL5000氦氣檢漏儀

小 可檢測到的氦氣泄漏率（真空模式） 毫巴•升/秒

<5•10 -12

inficon UL5000檢漏儀維修

小 可檢測到的氦氣泄漏率（嗅探器模式） 毫巴•升/秒 8E-8

高 進氣壓力GROSS模式 毫巴 15

高 進氣壓力微調模式 毫巴 2

高 進氣壓力ULTRA模式 毫巴 0.4

疏散時的抽速 立方米/小時 50 Hz時25

氦抽速GROSS模式 升/秒 多8

氦抽速FINE模式 升/秒 多20

氦氣抽速ULTRA模式 升/秒 > 20

可檢測的質量 2,3,4畝

質譜儀領域 180°攝氏度

長絲離子源銥/氧化釔涂層 2

校準的內置測試泄漏 7號

測試口 DN40KF

可調觸發(fā)器 2

接口 RS232

圖表記錄器輸出 2 x10伏

輸入/輸出 兼容PLC

允許的環(huán)境溫度（運行期間） °C +10 ... + 40

重量 140

尺寸（長x寬x高） 1068x530x1083

電源電壓 230（+-10％）50赫茲

能量消耗 VA 1100

UL5000氦氣檢漏儀

零件號 描述

14005 SL200,，用于UL1000 / 5000 / Modul1000的嗅探器探頭,，長度為4m（需要連接電纜551-205）

14022 遙控器RC1000的延長電纜，長8 m

14090 適用于UL1000 / 5000系列的LeakWare

551-001 氦氣瓶架用于UL1000 / 5000

551-010 遙控RC1000C,，有線,，帶4m盤繞電纜

551-015 遙控器RC1000WL,，無線，含,。無線發(fā)射器

551-020 RC1000WL無線發(fā)射器

數(shù)據(jù)表

干氦檢漏儀UL5000 | EN | | DE | | ES | |日文| |??| |中文|

宣傳冊

UL5000手冊 | EN |

RC1000 | EN |

說明書

UL5000操作說明 | ZH | | DE |

UL5000操作說明FR | ZH |

接口說明UL1000 / 5000 | EN |

RC1000操作說明 |中文| | DE |

RC1000使用說明（法語） | EN |

產品目錄

LD-Catalog-2019-EN.pdf | EN | | DE | | ES | |日文| |??| |中文|

影片

使用零功能進行泄漏檢測

其它文件

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