JSM-7200F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡應(yīng)用了日本電子旗艦機(jī)-JSM-7800F Prime采用的浸沒(méi)式肖特基電子槍技術(shù),，標(biāo)配了TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System）,，因此無(wú)論是在高/低加速電壓下，空間分辨率都比傳統(tǒng)機(jī)型有了很大的提升,。

• 產(chǎn)品特點(diǎn)

• • JSM-7200F的電子光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用了日本電子旗艦機(jī)-JSM-7800F Prime采用的浸沒(méi)式肖特基電子槍技術(shù),，標(biāo)配TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System）,，無(wú)論是在高/低加速電壓下,，空間分辨率都比傳統(tǒng)機(jī)型有了很大的提升。此外,，保證300nA的大束流,，能兼顧高分辨率觀察和高通量分析，具有充實(shí)的自動(dòng)功能和易用性,，是新一代的多功能場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡,。

  • ＜特點(diǎn)＞

  • JSM-7200F的主要特點(diǎn)有：應(yīng)用了浸沒(méi)式肖特基電子槍技術(shù)的電子光學(xué)系統(tǒng)；利用GB（Gentle Beam 模式）和各種檢測(cè)器在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨觀察和選擇信號(hào)的TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System）,；電磁場(chǎng)疊加的混合式物鏡,。

  • 浸沒(méi)式肖特基電子槍

  • 浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍為日本電子的專技術(shù),，通過(guò)對(duì)電子槍和低像差聚光鏡進(jìn)行優(yōu)化，能有效利用從電子槍中發(fā)射的電子,，即使電子束流很大也能獲得很細(xì)的束斑,。因而可以實(shí)現(xiàn)高通量分析（EDS、WDS面分析,、EBSD分析等）,。

  • TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）

  • TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨率觀察和信號(hào)選擇的系統(tǒng)。 利用GB（Gentle Beam 模式）通過(guò)給樣品加以偏壓,，對(duì)入射電子有減速,、對(duì)樣品中發(fā)射出的電子有加速作用，即使在低加速電壓（入射電壓）下,，也能獲得信噪比良好的高分辨率圖像,。 
    此外，利用安裝在TTLS的能量過(guò)濾器過(guò)濾電壓,，可以調(diào)節(jié)二次電子的檢測(cè)量,。這樣在極低加速電壓的條件下，用高位檢測(cè)器（UED）就可以只獲取來(lái)自樣品淺表面的大角度背散射電子,。因過(guò)濾電壓用UED沒(méi)有檢測(cè)出的低能量電子,，可以用高位二次電子檢測(cè)器（USD，選配件）檢測(cè)出來(lái),，因此JSM-7200F能同時(shí)獲取二次電子像和背散射電子像,。

  • 混合式物鏡（電磁場(chǎng)疊加）

  • JSM-7200F的物鏡采用了本公司新開發(fā)的混合式透鏡。 
    這種混合式透鏡是組合了磁透鏡和靜電透鏡的電磁場(chǎng)疊加型物鏡,，比傳統(tǒng)的out-lens像差小,，能獲得更高的空間分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性,，所以可以觀察和分析磁性材料樣品,。

  • 應(yīng)用實(shí)例

  • ◇ 利用混合式物鏡、GB（Gentle Beam 模式）進(jìn)行觀察的實(shí)例 

  • 利用低像差的混合式物鏡和GB 模式,，即使對(duì)不導(dǎo)電樣品也能在極低的加速電壓下進(jìn)行高分辨率成像,。

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  • 樣品: 介孔二氧化硅 （ 中國(guó)上海交通大學(xué)車順愛(ài)教授）

  • ◇ 使用高位檢測(cè)器（ＵＥＤ）、能量過(guò)濾器進(jìn)行觀察的實(shí)例

  • 下圖是利用UED在低加速電壓條件下獲得的背散射電子像,。由于是大角度散射電子成像,，成份信息非常豐富，但加速電壓為0.8kV比在5kV時(shí)的測(cè)試,，能獲得更細(xì)微的淺表面信息,。象這樣在極低加速電壓下要獲取樣品淺表面的背散射電子成份像，不僅需要高位檢測(cè)器,，還需要用來(lái)去除二次電子的能量過(guò)濾器,。

  • 樣品：鍍金表面,   能量過(guò)濾器： -250 V  

  • 產(chǎn)品規(guī)格
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    JSM-7200F	JSM-7200FLV
    分辨率	1.0 nm(20kV),，1.6 nm(1kV)	1.0 nm(20kV)，1.6 nm(1kV),，1.8nm (30kV,  LV )
    放大倍率	×10～×1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30～×3,000,000(1280 x 960pixels display);
    加速電壓	0.01kV～30kV
    束流	1pA～300nA
    自動(dòng)光闌角佳控制透鏡ACL	內(nèi)置
    大景深模式	內(nèi)置
    檢測(cè)器	高位檢測(cè)器(UED),、低位檢測(cè)器(LED)
    樣品臺(tái)	5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)
    樣品移動(dòng)范圍	X：70mm  Y：50mm  Z：2mm～41mm 傾斜－5～＋70°  旋轉(zhuǎn)360°
    低真空范圍	-	10pa～300pa

    • 主要選配件

    • 可插拔式背散射電子探頭（RBED）

    • 高位二次電子探頭（USD）

    • 低真空二次電子探頭（LV-SED）

    • 能譜儀（EDS)

    • 波譜儀（WDS）

    • 電子背散射衍射系統(tǒng)（EBSD)

    • 陰極熒光系統(tǒng)（CLD）

    • 樣品臺(tái)導(dǎo)航系統(tǒng)（SNS）

    • 電子束曝光系統(tǒng)

JSM-7200F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡危險(xiǎn)化學(xué)品的批發(fā)、零售（在許可證有效期限及核定范圍內(nèi)經(jīng)營(yíng)）,。 第三類,、第二類醫(yī)療器械、儀器儀表,、化工產(chǎn)品（除危險(xiǎn)化學(xué)品）,、玻璃制品、五金交電,、機(jī)械設(shè)備,、一類醫(yī)療器械、消防器材,、辦公設(shè)備,、文具用品、體育用品,、建材,、日用品的批發(fā)、零售,；教學(xué)儀器的安裝,、維修；自營(yíng)和代理貨物和技術(shù)的進(jìn)出口,，但國(guó)家限定經(jīng)營(yíng)或禁止進(jìn)出口的貨物和技術(shù)除外,；計(jì)算機(jī)軟件開發(fā)，商品信息咨詢,；色譜儀器及色譜材料的分析測(cè)試服務(wù),；實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、儀器儀表安裝,、維修,、維護(hù)、拆除,、搬運(yùn),，貨物裝卸,、搬運(yùn)服務(wù)以及其他按法律,、法規(guī)、*決定等規(guī)定未禁止或無(wú)需經(jīng)營(yíng)許可的項(xiàng)目和未列入地方產(chǎn)業(yè)發(fā)展負(fù)面清單的項(xiàng)目,。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)）