930 系列隔膜閥（1-1 / 8英寸的閥體尺寸）可用于各種手動(dòng)操作和氣動(dòng)執(zhí)行器操作,。它擁有優(yōu)異的可靠性,，泄漏完整性和清潔度，使其在UHP半導(dǎo)體行業(yè)中成為理想的應(yīng)用,。

• 派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性,，高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生，非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用,。
  
  930系列采用不與過程流體接觸無(wú)螺紋或彈簧設(shè)計(jì),，可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留，減少半導(dǎo)體應(yīng)用中*的工藝污染,。該系列閥門的嚴(yán)格設(shè)計(jì),，控制閥座和隔膜應(yīng)力,，以提供可靠和免維護(hù)的使用壽命。930系列閥門潤(rùn)濕部件由特種金屬制成,，提供的耐腐蝕性和泄漏完整性,。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質(zhì)。 Vericlean™ 是派克專有的UHP級(jí)不銹鋼,。隔膜是高強(qiáng)度鈷基合金材質(zhì),。 930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮樹脂（PEEK®）和聚酰亞胺（Vespel®）材質(zhì)的閥座,，可使930閥門與各種工藝流體相兼容,。這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300 psig時(shí)極度的耐腐蝕性和大循環(huán)使用壽命,。
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  930系列氣動(dòng)閥可以配置限位開關(guān)或接近開關(guān)，用以提供開 - 關(guān)位置指示,。還有多種閥體構(gòu)造可選,，包括930Y系列（Y型閥）和SM930系列（面板安裝）。
  
  930系列閥門上內(nèi)部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄露測(cè)試,，以確保在苛刻的UHP應(yīng)用中,，保有其性能和可靠性。
  
  市場(chǎng)：
  • 半導(dǎo)體
  • 分析實(shí)驗(yàn)室
  • 制藥
  • 生物制藥
  • 航空航天
  • 工業(yè)
  
  美國(guó)PARKER派克隔膜閥特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：
  • 電拋光表面光潔度：5微英寸（Ra）
  • 高循環(huán)使用壽命（包括耐腐蝕務(wù)）
  • 內(nèi)部無(wú)彈簧和無(wú)螺紋設(shè)計(jì)可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留
  • 全壓力范圍使用:從真空到300 psig
  • 內(nèi)部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He
  • 外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He
  • AOP驅(qū)動(dòng),，額定壓力為75 psig
  
  美國(guó)PARKER派克隔膜閥應(yīng)用：
  • 腐蝕性氣體和特種氣體
  • 半導(dǎo)體工具
  • 工具連接
  • 燃?xì)夤?br />• 閥組箱（VMB）

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