NS-XY200Z100-01重載XYZ三維納米定位臺(tái)

典型應(yīng)用：顯微成像/激光加工/光學(xué)測量/表面檢測/半導(dǎo)體加工

納米位移系統(tǒng)的應(yīng)用越來越廣泛，從原子力顯微鏡,、精密光學(xué)設(shè)備,、半導(dǎo)體設(shè)備到各種*行業(yè)。納米位移系統(tǒng)能夠產(chǎn)生和測量優(yōu)于納米（nm）的位移,，整個(gè)系統(tǒng)包含3部分：納米位移臺(tái),、控制器和控制軟件,。

納米位移臺(tái)是一種機(jī)械裝置，內(nèi)部有一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷,，由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng),。三英設(shè)計(jì)和制造的納米位移臺(tái)使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運(yùn)動(dòng)裝置連接到固定基座上。納米位移臺(tái)內(nèi)置精密傳感器,，閉環(huán)控制時(shí),，三英的傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別,、亞納米級(jí)別的分辨率,。

控制器為納米位移臺(tái)提供電源。在閉環(huán)控制時(shí),，納米位移臺(tái)內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù),。控制器周期性的處理位移數(shù)據(jù)并修正輸出電壓信號(hào),，從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同,。

三英提供簡單易用的軟件。納米位移系統(tǒng)通常作為大型設(shè)備的一個(gè)部件,，因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當(dāng)重要的,。三英控制器對(duì)外通信方式有多種，常用的方式是通過BNC模擬信號(hào)（-10V~10V）控制納米位移臺(tái)的位移,。還可以通過USB接口和數(shù)字IO實(shí)現(xiàn)與控制器的通信,。三英控制器內(nèi)部軟件實(shí)現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制,，內(nèi)部集成了正弦波,、方波和三角波的波形發(fā)生器。

如有客戶需求,，三英可以對(duì)納米位移運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)進(jìn)行量身定制,，以提供及時(shí)、滿意的技術(shù)支持與服務(wù),。