EVC150L 半導(dǎo)體百級無塵烤箱
- 公司名稱 艾德生儀器有限公司
- 品牌 EDESON/艾德生
- 型號 EVC150L
- 產(chǎn)地 寧波
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/1/8 12:08:20
- 訪問次數(shù) 2667
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尼龍調(diào)濕增濕箱,,高低溫試驗箱,,恒溫恒濕試驗箱,低溫低濕試驗箱,,高低溫沖擊試驗箱,,鹽霧腐蝕試驗箱,,二氧化硫試驗箱,高低溫濕熱試驗室,,恒溫干燥箱,,耐候試驗箱,紫外光\氙弧燈老化試驗箱,,低溫/恒濕水油槽,冷凝水試驗箱,,臭氧老化試驗箱,,振動試驗臺,拉力試驗機(jī),,包裝跌落試驗機(jī),,生化培養(yǎng)箱,藥用冷藏箱,,光照培養(yǎng)箱,,藥物穩(wěn)定性試驗箱,人工氣候室,,壓力蒸汽滅菌器
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
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一,、半導(dǎo)體無塵烤箱設(shè)備用途:
半導(dǎo)體無塵烤箱Class 100百級潔凈無塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵,、鈮酸鋰,、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,;也適用于電子液晶顯示,、LCD、CMOS,、IS,、醫(yī)藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門,;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥,、熱處理、老化等其他高溫試驗,。
二,、半導(dǎo)體無塵烤箱產(chǎn)品特點(diǎn):
1、在普通環(huán)境下使用,,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100級,;
2、內(nèi)膽四周氬弧焊,,耐高溫硅膠密封,,SUS304#不銹鋼加熱器,,防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵;
3,、采平面水平送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter裝置往前 (特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng),,過濾效率99.99%,Class 100排氣口:3"φ(附自動啟閉風(fēng)門)
4,、箱內(nèi)空氣封閉強(qiáng)制自循環(huán),,經(jīng)耐高溫空氣過濾器反復(fù)過濾,使干燥箱工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài),。水平循環(huán)結(jié)構(gòu),,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),,溫度控制精度,。
5、配壓差計隨時了解過濾器工作狀態(tài),。
三,、半導(dǎo)體無塵烤箱潔凈度100級的潔凈熱處理:
HEPA高效過濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與Class 100級潔凈度小限度控制風(fēng)速距離。
三,、技術(shù)參數(shù):
設(shè)備型號 | EVC 150L□ | EVC 320L□ | EVC640L□ | EVC 270L2【雙層】 | |
內(nèi)箱尺寸W*D*H mm | 500×500×600 | 600×600×900 | 800×800×1000 | 700×700×500 | |
外型尺寸W*D*H mm | 以實(shí)物為準(zhǔn)(溫度不同外箱尺寸不同) | ||||
工作溫度范圍 | A: 250℃ B: 300℃ | ||||
潔凈度 | Class 100級(可定制Class 1000級,,Class 10000級) | ||||
性能 | 解析精度 | 0.1℃ | |||
分布均勻度 | ±2.5℃% | ||||
材質(zhì) | 外部材質(zhì) | SPCC鋼板粉體烤漆處理 | |||
內(nèi)部材質(zhì) | SUS﹟304鏡面不銹鋼板 | ||||
隔熱材質(zhì) | 玻璃纖維棉/陶瓷纖維棉 | ||||
密封材料 | 硅橡膠 | ||||
加熱方式 | 熱風(fēng)循環(huán)加熱/自然對流加熱/熱輻射加熱 | ||||
加熱系統(tǒng) | 不銹鋼高速加熱器 | ||||
計時器 | 0.1S~9999H | ||||
溫控器 | 普通數(shù)顯溫控型/觸摸屏PLC程序控制器 | ||||
其它配件 | 多層強(qiáng)化玻璃視窗(260℃以內(nèi)),隔層置物架(兩片) | ||||
安全裝置 | 電路系統(tǒng)負(fù)載保護(hù),,風(fēng)機(jī)過載保護(hù),,溫到計時時到斷加熱,故障警示燈 | ||||
選配件 |
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設(shè)備電源 | AC 220V或380V 50HZ | ||||
備注:1,、以上數(shù)據(jù)均在環(huán)境溫度(QT)25℃.工作室無負(fù)載條件下測得,。 |