性能
- 可用范圍:大0-5000 slpm,小0-0.5 sccm / 0-500sμlm(庫存范圍請(qǐng)參見“零件編號(hào)”標(biāo)簽)
- 穩(wěn)態(tài)控制范圍:滿量程的0.01%– 100%,。
- 標(biāo)準(zhǔn)精度校準(zhǔn),,可溯源NIST:+/-(大多數(shù)產(chǎn)品讀數(shù)的0.6%)
- 可選的高精度校準(zhǔn),可追溯到NIST:+/-(大多數(shù)產(chǎn)品讀數(shù)的0.5%)
- 重復(fù)性:讀數(shù)的+/- 0.1%+滿量程的0.02%
- 典型的控制響應(yīng)時(shí)間常數(shù):50-100毫秒(PID調(diào)整低25毫秒)
- 無需預(yù)熱時(shí)間