科晶高真空蒸發(fā)鍍膜儀

型號：GSL-1800X-ZF4

產(chǎn)品概述：

GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,，特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜（如Ti,、Al 、Au等）,，也可蒸鍍各種氧化物材料,。本機設有4個蒸鍍加熱舟，且每個蒸鍍舟都帶有擋板,。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機材料的蒸發(fā)鍍膜,，可滿足發(fā)光器件及有機太陽能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設備,。

• 主要特點：
  真空控制單元全部集合在一個控制盒內,。

• 采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷,。

• 真空腔體設有1個KF40旁抽閥（直接與前級機械泵相連,，方便快速取放樣品，提高效率）,、1個CF150閘板 閥（直接與分子泵相連）,、1個KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、5個CF35法蘭（1個安裝電離規(guī),，4個備用,，便于安裝其他設備）,。

• 在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟,。

• 4個蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動擋板,，有效地避免蒸發(fā)時相互污染。

（1）樣品臺安裝在腔體的頂部,。

（2）腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀,，精度為10?。

• 可使用循環(huán)水冷機,。

科晶高真空蒸發(fā)鍍膜儀

型號：GSL-1800X-ZF4

技術參數(shù)：

• 輸入：單相AC208-240V,，20A，50Hz/60Hz,，<10KW

• 輸出：0-8V AC 可調,，大電流400A，大功率8000W（包括真空泵）

• 真空腔：Φ300mm（內徑）×400mm,，不銹鋼,，內壁經(jīng)電拋光處理

• 腔門：Φ200mm

• 觀察窗：Φ95mm，采用密封圈密封

• 真空泵：高抽速渦輪分子泵,，抽速600L/s（標配GZK-103G分子泵）

• 真空度：5.0×10-6torr（泵開啟40min后）

（1）極限真空度：5.0×10-7torr （加熱溫度為100℃-150℃）

（2）漏率：5.0×10-7Pa/s

（3）樣品臺：Φ140mm

（4）蒸發(fā)舟與樣品臺間距：260mm

• 冷卻水需量：15L/min

產(chǎn)品規(guī)格：

• 尺寸：650mm×1200mm×1600mm,；

• 重量：600kg