江西專業(yè)愛德華干泵維修  

江西南昌愛德華干泵維修
南昌縱鵬機(jī)械設(shè)備有限公司專業(yè)從事edwards干泵維修,，正規(guī)的維修工廠，擁有完整的維修SOP,。Edwards iXH1210HT愛德華干泵維修保證質(zhì)量,，edwards干泵iXH1210HT維修基本無返修狀況，edwards真空泵維修收費(fèi)合理,，edwards真空泵維修服務(wù)品質(zhì)到位,，是供應(yīng)商理想的選擇！
edwards iXH系列干泵產(chǎn)品是Edwards的市場(chǎng)iH產(chǎn)品的換代升級(jí),，為嚴(yán)苛制程能力樹立了新標(biāo)準(zhǔn),，它在世界上的許多300mm半導(dǎo)體和平板工廠內(nèi)通過提高制程可靠性實(shí)現(xiàn)低擁有成本?？蓾M足 FPD,、太陽(yáng)能,、半導(dǎo)體和LED制造業(yè)中日益提高的氣體流量要求的完美大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外,，這些泵還配備多種特性以確保在嚴(yán)苛制程中具有大可靠性,。
edwards iXH泵采用模塊化設(shè)計(jì)，符合 當(dāng)今的制程要求,，并且對(duì)于前沿工廠中不斷涌現(xiàn)的應(yīng)用挑戰(zhàn)有著路線明確的應(yīng)對(duì)計(jì)劃,。
應(yīng)用
半導(dǎo)體的目標(biāo)應(yīng)用包括：
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目標(biāo)應(yīng)用包括：
PECVD
TCO
刻蝕
傳輸腔

愛德華干泵維修主要特性和優(yōu)勢(shì)：
針對(duì)*的EPI和太陽(yáng)能制程大幅提高了氫氣抽取速度。
大容量干泵和增壓泵提供擴(kuò)展的制程窗口以提高產(chǎn)量,。
占地面積更小,，高度更低，便于在任何工廠中安裝,。
符合主要的標(biāo)準(zhǔn),，包括UL、CE 和 S2,?？梢允冀K如一地使用或省略不用。
愛德華干泵維修小結(jié)：
1.必須先泵浦外觀現(xiàn)象是否有破損,，如有破損需告知使用單位,。
2.通電之前還得通水，通水之前必須檢測(cè)你所有的接頭是否有漏水現(xiàn)象,，以免燒毀電路板及馬達(dá),。
3.拆解泵浦，拆解之前必須分清楚螺絲部位,，長(zhǎng)度,，大小，以免組裝時(shí)發(fā)生錯(cuò)誤,。
4.拆解過程中必須要細(xì)心,，轉(zhuǎn)子是否有磨損，蓋板是否有損傷,，缸璧是否有劃傷,。
5.拆解時(shí)有的是帶控制電箱，有的是沒有的,，所以特別分清楚,，控制部分特別注意，不要損壞電路板之內(nèi)的,。
6.拆解完畢之后我們要清洗,，噴砂，烘烤，組裝,，所以拆解時(shí)配件必須擺放整齊,，以至于組裝時(shí)方便。
7.用超聲波清洗機(jī)將所有的零件放在里面將其零件清洗,，清洗完畢之后,，在放入烤箱烘烤。
8.噴砂,，噴砂有幾種噴砂機(jī),，如果是濕式噴砂機(jī)更為方便，所有的配件及腔體,，蓋板都檢查完畢,。
9.組裝過程中必須檢查所有的轉(zhuǎn)子尺寸是否達(dá)標(biāo)，符合這臺(tái)真空泵使用尺寸,，這個(gè)會(huì)直接導(dǎo)致你維修真空泵質(zhì)量是否達(dá)標(biāo),。
10.組裝過程中軸封及軸承組裝必須到位，如果不到位會(huì)影響你真空泵維修質(zhì)量及使用壽命,。
11.組裝過程中發(fā)現(xiàn)有轉(zhuǎn)子及軸套尺寸不到位應(yīng)該停止馬上處理，工作第1次做到位,，不必返工,。
12.裝好之后我們要進(jìn)行調(diào)試間隙。
13.調(diào)試間隙時(shí)你螺絲需要按照標(biāo)準(zhǔn)鎖多少磅就是多少磅,，以免使用過程中松動(dòng)導(dǎo)致真空泵卡死,。
14.間隙調(diào)試完畢，就組裝馬達(dá)及管路,，加油測(cè)試,。
15.測(cè)試也是關(guān)鍵時(shí)候，也是對(duì)你勞動(dòng)成果的肯定,。
16.測(cè)試之前確定電壓,，以便電機(jī)燒毀，確認(rèn)無誤在通電,。
17.通電之前先測(cè)試電機(jī)是否正傳還是反轉(zhuǎn),，如果反轉(zhuǎn)三根線當(dāng)中，隨便兩根互換及可,。
18.相位及電壓對(duì)了之后,，我們可以接真空表頭，看看真空度及,，抽速是否達(dá)標(biāo),。
19.沒有通氣，通水時(shí)不宜測(cè)試時(shí)間過長(zhǎng)，以便于電機(jī)溫度過高導(dǎo)致燒毀,。
20.上架時(shí)有的氣管接頭,，水管接頭必須檢查，是否有劃傷,，如有需處理及更換,。
21.上架好之后通水，通電,，通氣所有都檢查完畢,，方可通電。
公司擁有一支強(qiáng)大,、專業(yè)保養(yǎng)護(hù)理進(jìn)口真空泵維修的技術(shù)隊(duì)伍,，特別精通于貝克真空泵、里其樂真空泵,、萊寶真空泵,、普旭真空泵、愛德華真空泵,、日本好利旺真空泵等各種品牌進(jìn)口真空泵的維修與保養(yǎng),。
所有產(chǎn)品都是從我們國(guó)外公司直接報(bào)關(guān)進(jìn)口過來的，原裝正品,！保證質(zhì)量,！
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