AS-Micro 真空快速退火爐
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 AS-Micro
- 產(chǎn)地 法國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/5/17 8:59:14
- 訪問次數(shù) 1781
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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AS-Micro真空快速退火爐,,性能,,可搭配分子泵實現(xiàn)高真空下熱處理工藝。zui高溫度1250 ℃,,zui快升溫速率250℃/Second,。全程PC軟件控制升溫程序,保證溫度不過沖,,控溫精度準確,。
產(chǎn)品特點:
1、 紅外鹵素燈管加熱,,冷卻采用風冷(低噪音水平,,無需壓縮空氣);
2,、加熱由功率控制而非電壓控制,,避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問題,保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性,,即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達到初的熱處理效果,;
3、石英腔體,,腔體冷卻采用水冷,,冷壁設(shè)計,雙層不銹鋼,;
冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點在于:1,、無記憶,2,、工藝重復(fù)性高,,3,、冷卻速度快;
4,、反應(yīng)腔室的設(shè)計,,氣體的進入口設(shè)計在wafer的表面,避免在退火過程中冷點的產(chǎn)生,。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性,;
5、快速數(shù)字PID控溫,;
6,、熱電偶設(shè)計上采用中間和邊緣安裝模式,測試的樣品的溫度,,控溫精準,;
7、大氣和真空工藝均適合,,凈化氣體配針閥,;
8、zui多3工藝氣體,,配數(shù)字質(zhì)量流量控制器,;
9、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度,;
10,、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設(shè)計,用于小樣品測試,;
11,、可選配分子泵,用于高真空測試,;
12,、可選配雙腔體設(shè)計, 達到高潔凈工藝,避免交叉污染,。
產(chǎn)品標準配置及規(guī)格參數(shù):
1,、樣品大尺寸:3-inch;
2,、紅外鹵素燈:6支,; 大功率:15KW;
3,、紅外鹵素燈冷卻方式:風冷,;
4、溫度范圍:室溫~1250 ℃,;
5,、升溫速率:0.1 ℃~250 ℃/s ;
6,、溫度控制:快速數(shù)字PID控制,;
7、熱電偶:2N型熱電偶,;
8,、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計:壓力:2bars,zui多可配置3路,;
9,、配置真空泵及真空規(guī):真空度:10e-3 Torr;(分子泵選配10e-6 Torr)
10,、尺寸:700*700*750mm (W*D*H),; 重量:凈重82Kg;