AS-Micro真空快速退火爐,，性能,，可搭配分子泵實現(xiàn)高真空下熱處理工藝。zui高溫度1250 ℃,，zui快升溫速率250℃/Second,。全程PC軟件控制升溫程序，保證溫度不過沖,，控溫精度準確,。

產(chǎn)品特點：

1、 紅外鹵素燈管加熱,，冷卻采用風冷（低噪音水平,，無需壓縮空氣）；

2,、加熱由功率控制而非電壓控制,，避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問題，保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性,，即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達到初的熱處理效果,；

3、石英腔體,，腔體冷卻采用水冷,，冷壁設(shè)計，雙層不銹鋼,；

冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點在于：1,、無記憶，2,、工藝重復(fù)性高,，3,、冷卻速度快；

4,、反應(yīng)腔室的設(shè)計,，氣體的進入口設(shè)計在wafer的表面，避免在退火過程中冷點的產(chǎn)生,。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性,；

5、快速數(shù)字PID控溫,；

6,、熱電偶設(shè)計上采用中間和邊緣安裝模式，測試的樣品的溫度,，控溫精準,；

7、大氣和真空工藝均適合,，凈化氣體配針閥,；

8、zui多3工藝氣體,，配數(shù)字質(zhì)量流量控制器,；

9、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度,；

10,、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設(shè)計，用于小樣品測試,；

11,、可選配分子泵，用于高真空測試,；

12,、可選配雙腔體設(shè)計, 達到高潔凈工藝，避免交叉污染,。

產(chǎn)品標準配置及規(guī)格參數(shù)：

1,、樣品大尺寸：3-inch；

2,、紅外鹵素燈：6支,； 大功率：15KW；

3,、紅外鹵素燈冷卻方式：風冷,；

4、溫度范圍：室溫~1250 ℃,；

5,、升溫速率：0.1 ℃~250 ℃/s ；

6,、溫度控制：快速數(shù)字PID控制,；

7、熱電偶：2N型熱電偶,；

8,、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計：壓力：2bars，zui多可配置3路,； 

9,、配置真空泵及真空規(guī)：真空度：10e-3 Torr；（分子泵選配10e-6 Torr）

10,、尺寸：700*700*750mm (W*D*H),； 重量：凈重82Kg；