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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>物理特性分析儀器>測厚儀>白光干涉測厚儀>F-50,、F-60 膜厚測量儀——自動(dòng)厚度測繪系統(tǒng)

F-50,、F-60 膜厚測量儀——自動(dòng)厚度測繪系統(tǒng)

參考價(jià) 16
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!


岱美有限公司(下面簡稱岱美)成立于1989年,,是一間擁有多年經(jīng)驗(yàn)的性高科技設(shè)備分銷商,,主要為半導(dǎo)體、MEMs,、光通訊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ),、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,,并與一些重要的客戶建立了*合作的關(guān)系,。

自1989年創(chuàng)立至今,,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù)、解決方案廣泛地運(yùn)用于中國大陸,、香港,、中國臺(tái)灣,、新加坡、泰國,、馬來西亞、菲律賓等地區(qū),。
主要產(chǎn)品包括有:EVG晶圓鍵合設(shè)備,、EVG納米壓印設(shè)備,、EVG紫外光刻機(jī)、EVG涂膠顯影機(jī),、EVG硅片清洗機(jī)、EVG超薄晶圓處理設(shè)備,、壓力計(jì),、流量計(jì)、等離子電源,、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測量儀、薄膜厚度檢測儀,、電容式位移傳感器,、振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì) (VSM)、粗糙度檢測儀,、電鏡 (SEM),、透鏡 (TEM)、原子力顯微鏡 (AFM),、防振臺(tái)系統(tǒng)、三維原子探針材料分析儀 (Atom Probe),、激光干涉儀,、平面/球面大口徑動(dòng)態(tài)激光干涉儀、氦質(zhì)譜檢漏儀,、紫外線固化儀、碳納米管生長設(shè)備等,。
岱美中國擁有八十多名訓(xùn)練有素的工程師,,能夠?yàn)楦鞯貐^(qū)用戶作出快捷,、可靠的技術(shù)支持和維修服務(wù);為確保他們的專業(yè)知識(shí)得以更新及并適應(yīng)新的要求,,岱美定期委派工程師前往海外接受專項(xiàng)技術(shù)訓(xùn)練,,務(wù)求為顧客提供更高質(zhì)素的售后服務(wù)及技術(shù)支持,。
總部位于中國香港的岱美分別在新加坡、泰國,、中國臺(tái)灣,、馬來西亞,、菲律賓及中國大陸(上海、東莞及北京)設(shè)立了分公司及辦事處,,以帶給客戶更快捷更的銷售及維修服務(wù)。
我們真誠希望和業(yè)界的用戶互相合作,,共同發(fā)展?。?/span>     

膜厚測量儀,、隔震臺(tái),、磁強(qiáng)計(jì)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 50萬-100萬
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,航空航天,電氣

*代理商——岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司

 

F50膜厚測量儀——自動(dòng)厚度測繪系統(tǒng)

 

自動(dòng)膜厚映射

Filmetrics F50系列產(chǎn)品可以每秒繪制兩個(gè)點(diǎn)的薄膜厚度,。電動(dòng)R-Theta載物臺(tái)可以接受標(biāo)準(zhǔn)和定制的卡盤,用于直徑大為450mm的樣品,。(這是在我們的生產(chǎn)系統(tǒng)中執(zhí)行數(shù)百萬次測量的同一壽命階段!)

地圖圖案可以是極性,,矩形或線性的,,也可以創(chuàng)建自己的樣式,,而對(duì)測量點(diǎn)的數(shù)量沒有限制。提供了數(shù)十種預(yù)定義的地圖圖案,。F50膜厚映射系統(tǒng)連接到Windows®計(jì)算機(jī)的USB端口,可以在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)置,。

不同的F50儀器的主要區(qū)別在于厚度和波長范圍,。標(biāo)準(zhǔn)F50是非常受歡迎的。通常,,較短的波長(例如F50-UV)用于測量較薄的膜,而較長的波長則可以測量較厚,,更粗糙和更不透明的膜,。

F54 膜厚測量儀——自動(dòng)厚度測繪系統(tǒng)

自動(dòng)膜厚映射

借助F54*的光譜反射系統(tǒng),,可以快速輕松地繪制直徑大為450毫米的樣品的薄膜厚度。電動(dòng)r-theta平臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測量點(diǎn),,并提供每秒2個(gè)點(diǎn)的速度測量。

從數(shù)十種預(yù)定義的極性,,矩形或線性地圖圖案中選擇一種,,或創(chuàng)建自己的不受限制的測量點(diǎn)數(shù)量。整個(gè)桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設(shè)置,,任何具有基本計(jì)算機(jī)技能的人都可以使用,。

F54膜厚映射系統(tǒng)連接到Windows®計(jì)算機(jī)的USB端口,可以在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)置,。

不同儀器的主要區(qū)別在于厚度和波長范圍,。通常,,較短的波長(例如F54-UV)用于測量較薄的膜,而較長的波長則可以測量較厚,,更粗糙和更不透明的膜。

F60系列膜厚測量儀——自動(dòng)厚度測繪系統(tǒng)

 

用于生產(chǎn)環(huán)境的自動(dòng)厚度映射

Filmetrics F60-t系列像我們的F50產(chǎn)品一樣繪制膜的厚度和折射率,,但是它還包含許多專門針對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的功能。其中包括自動(dòng)找到缺口,,自動(dòng)機(jī)載基線,,帶運(yùn)動(dòng)互鎖功能的封閉式測量臺(tái)以及帶有預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī),。

不同的F60-t儀器的主要區(qū)別在于厚度和波長范圍。通常,,需要較短的波長(例如F60-t-UV)來測量較薄的薄膜,,而較長的波長則可以測量較厚,更粗糙和更不透明的薄膜

F60-t P1.png

 

F60-t P2.png

 

 

岱美有限公司與Filmetrics從03年開始的合作關(guān)系,,單是國內(nèi)16年間已賣出超過600臺(tái)不同型號(hào)儀器,在國內(nèi)有多個(gè)服務(wù)處均有工程師,,保證能為客戶提供及時(shí)的服務(wù),。

Dymek logo.png            Filmetrics Logo.png

經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的薄膜厚度測量系統(tǒng)的銷售*,,讓復(fù)雜測量變得簡單

 

 

產(chǎn)品簡介:

美國 Filmetrics 公司生產(chǎn)的薄膜厚度測量儀利用反射干涉的原理進(jìn)行無損測量,可測量薄膜厚度及光學(xué)常數(shù),。測量精度達(dá)到埃級(jí)的分辯率,,測量迅速,,操作簡單,界面友好,,是目前市場上jiju性價(jià)比的薄膜厚度測量設(shè)備,。設(shè)備光譜測量范圍從近紅外到紫外線,波長范圍從200nm到1700nm可選,。凡是光滑的,透明或半透明的和所有半導(dǎo)體膜層都可以測量,。其可測量薄膜厚度在 1nm 到 13mm 之間,,測量精度高達(dá)1 埃,,測量穩(wěn)定性高達(dá) 0.7 埃,測量時(shí)間只需一到二秒, 并有手動(dòng)及自動(dòng)機(jī)型可選,??蓱?yīng)用領(lǐng)域包括:生物醫(yī)學(xué)(Biomedical), 液晶顯示(Displays), 硬涂層(Hard coats), 金屬膜(Metal), 眼鏡涂層(Ophthalmic) , 聚對(duì)二甲笨(Parylene), 電路板(PCBs&PWBs), 多孔硅(Porous Silicon), 光阻材料(Thick Resist),半導(dǎo)體材料(Semiconductors) , 太陽光伏(Solar photovoltaics), 真空鍍層(Vacuum Coatings), 圈筒檢查(Web inspection applications)等,。

 

 

應(yīng)用:

通過Filmetrics膜厚測量儀新反射式光譜測量技術(shù),多達(dá)3-4層透明薄膜厚度,、 n、k值及粗糙度能在數(shù)秒鐘測得,。其應(yīng)用廣泛,例如:

半導(dǎo)體制造

液晶顯示器

生物醫(yī)療元件

微機(jī)電系統(tǒng)

光學(xué)鍍膜

Photoresist

光刻膠

Oxides

氧化物

Nitrides

氮化物

SOI

絕緣體上硅

Cell Gaps液晶間隙

Polyimide

聚酰亞胺保護(hù)膜

ITO

納米銦錫金屬氧化物

Polymer/Parylene   Layers

 聚合物/聚對(duì)二甲苯涂層

Membrane/Balloon Wall   Thickness

生物膜/氣泡球厚度

Drug-Coated Stent

藥物涂層支架

Silicon Membranes

硅膜

AlN/ZnO Thin Film Filters

氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡

Hardness Coatings

硬鍍膜

Anti-reflection Coatings

增透鍍膜

Filters濾光

 

 

膜層實(shí)例:

幾乎任何光滑、半透明,、低吸收的膜都能測,。包括:

SiO2(二氧化硅)           SiNx(氮化硅)                    DLC(類金剛石碳)

Photoresist(光刻膠)     Polyer Layers(高分子聚合物層)      Polymide(聚酰亞胺)

Polysilicon(多晶硅)      Amorphous Silicon(非晶硅)

 

 基底實(shí)例:

對(duì)于厚度測量,,大多數(shù)情況下所要求的只是一塊光滑、反射的基底,。對(duì)于光學(xué)常數(shù)測量,需要一塊平整的鏡面反射基底,;如果基底是透明的,,基底背面需要進(jìn)行處理使之不能反射。

包括:

Silicon(硅)         Glass(玻璃)               Aluminum(鋁)

Gas(砷化鎵)        Steel(鋼)                 Polycarbonate(聚碳酸脂)

Polymer Films(高分子聚合物膜)

產(chǎn)品應(yīng)用,,在可測樣品基底上有了*的飛躍:

●幾乎所有材料表面上的鍍膜都可以測量,即使是藥片,,木材或紙張等粗糙的非透明基底。

●玻璃或塑料的板材,、管道和容器,。

●光學(xué)鏡頭和眼科鏡片,。

 

服務(wù):

免費(fèi)樣機(jī)演示及測量

輕輕一按即可實(shí)現(xiàn)測量!

請(qǐng)聯(lián)系我們,,專業(yè)的應(yīng)用工程師將為你演示它是如此的方便!

優(yōu)勢:

*     提供在線診斷

*     配送獨(dú)立的軟件包

*     精通的歷史功能即程序數(shù)據(jù)可存儲(chǔ),、復(fù)制及策劃結(jié)果

*     免費(fèi)軟件升級(jí)

 

 

               thickness measurement yuanli.png

 

極易操作,、快速,、準(zhǔn)確、機(jī)身輕巧及價(jià)格便宜為其主要優(yōu)點(diǎn),,F(xiàn)ilmetrics提供以下型號(hào)以供選擇:

一、單點(diǎn)測量系統(tǒng)(從 1nm 到 13mm 單層及多層厚度測量)

F20.jpg  F3-sX.jpg   F10-HC.jpg

F20

*銷非常好的薄膜測量系統(tǒng),,有各種不同附件和波長(由220nm紫外線區(qū) 至1700nm近紅外線區(qū))覆蓋范圍,為任意攜帶型,,可以實(shí)現(xiàn)反射率,、膜厚,、n、k值測量,。

F3-sX

能測量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米, 例如硅片

F10-ARc

可測量鏡片和其他曲面的反射率,用于涂層厚度測量

F10-HC

測量硬涂層和防霧層厚度和折射率,,聚碳酸酯硬涂層在汽車等行業(yè)應(yīng)用普通

F3-CS

提供微小視野及微小樣品測量,,USB連接電腦即可使用,攜帶方便

F10-AR

測量眼科鏡頭和其他彎曲表面的反射率,。還可以提供測量硬涂層厚度和透射率的可選件

F10-RT

可同時(shí)測量反射率和透射率,也可選配測量膜層厚度和折射率,。普遍應(yīng)用于真空涂層領(lǐng)域

F20實(shí)現(xiàn)反射率跟穿透率的同時(shí)測量,,特殊光源設(shè)計(jì)特別適用于透明基底樣品的測量,。

 

 

二、F40 系列- 基于微米(顯微)級(jí)別光斑尺寸厚度測量

F40 with SS-Microscope.jpg

F40

可以固定到您的顯微鏡上來測量小至 1um 光斑點(diǎn)的厚度和折射率

這型號(hào)安裝在任何顯微鏡外,,可提供小到1um光點(diǎn)(100倍放大倍數(shù))來測量微小樣品,。

 

三、F50/F60系列- 表面的自動(dòng)測繪

F60-t with computer.png

F50

為我們的F20系列產(chǎn)品增添自動(dòng)測繪能力,,以每秒鐘 2 個(gè)點(diǎn)的快速測繪厚度和折射率

這型號(hào)配備全自動(dòng)XY工作臺(tái),由8"x8"18"x18"或客戶提供所需尺寸均可,。通過快速掃瞄功能,,可取得整片樣品厚度分布情況(mapping),。

F54

能以每秒測量兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度,樣品直徑可達(dá)450毫米

F60-t

滿足生產(chǎn)環(huán)境的臺(tái)式測繪系統(tǒng),,包括自動(dòng)基準(zhǔn)確定、凹槽定位,、全封閉測量平臺(tái)以及其它裝置

 

四,、F30 系列- 在線厚度監(jiān)控儀器

F30.jpg       F32.jpg

F30

檢測金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD),、陰極濺鍍和其他沉積工藝中監(jiān)控反射率、厚度和沉積率

這型號(hào)可安裝在任何真空鍍膜機(jī)腔體外的窗口??蓪?shí)時(shí)監(jiān)控長晶速度、實(shí)時(shí)提供膜厚,、n,、k值。并可切定某一波長或固定測量時(shí)間間距,。更可加裝至三個(gè)探頭,,同時(shí)測量三個(gè)樣品,,具紫外線區(qū)或標(biāo)準(zhǔn)波長可供選擇,。

F32

實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜頂部和底部的反射率和沉積速率

 

 



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