景德鎮(zhèn)一體化預(yù)制泵站提籃格柵用來冷凝氮,、氧和氬等氣體,。在二級(jí)冷板的內(nèi)表面涂以活性炭?；钚蕴康谋缺砻娣e為500～2500米2/克,，在低溫下對(duì)氦、氖和氫有很強(qiáng)的吸附能力,。冷板由無氧銅制成,，表面拋光達(dá)到鏡面程度,，以減小輻射系數(shù)。泵的極限壓力為10-7～10-8帕,，工作壓力范圍為10-1～10-7帕,，要求預(yù)抽壓力為1帕。制成的產(chǎn)品抽氣速率已達(dá)60000升/秒（1升=10-3米3）,。

此外,，尚可根據(jù)工藝的特點(diǎn)把抽氣冷板安排在被抽容器內(nèi)，其抽氣速率可達(dá)到106升/秒以上,。低油泵的熱負(fù)載主要是氣體的凝結(jié)熱和周圍壁面對(duì)工作冷板的輻射熱,。凝結(jié)熱與氣體種類有關(guān)，對(duì)于80K,、133.322帕·升的氮?dú)饫淠?0K冷板上的凝結(jié)熱為0.3～0.6焦耳,。

注入式液氦低溫泵：主要由液氦容器、泵體和連接擋板的液氮腔體等部分組成,。為了減少液氦消耗,，液氦容器的外壁采用雙層保溫壁并在其間抽成真空。當(dāng)泵被預(yù)抽到10-6帕壓力時(shí)灌入液氮和液氦,，氣體凝結(jié)在4.2K的工作冷板上,。

景德鎮(zhèn)一體化預(yù)制泵站提籃格柵經(jīng)預(yù)抽使氦氫分壓到10-12帕數(shù)量級(jí)，故泵可獲得10-11帕以下的極限壓力,。如果把液氦容器抽真空減壓到6650帕,，液氦溫度可降到2.3K，則可得到更低的極限壓力,。（2）閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵：它是70年代出現(xiàn)的新型低溫泵,。

這種泵不消耗氦氣、操作簡(jiǎn)便,，易于維修,，應(yīng)用日漸廣泛。制冷機(jī)的制冷介質(zhì)為氣氦,，一級(jí)冷板溫度為50～100K,，用來冷凝水蒸汽和預(yù)冷其他氣體；二級(jí)冷板溫度為10～20K,。

吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多,。如在20K時(shí)氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用20K的活性炭吸氫時(shí)吸附平衡壓力則低于10-8帕,。

這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進(jìn)行抽氣,。（3）低溫捕集：在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長(zhǎng)的可冷凝氣體層埋葬和吸附,。一般說來,，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力,。

溫度為120K時(shí)，水的蒸氣壓已低于10-8帕,。溫度為20K時(shí),，除氦、氖和氫外,，其他氣體的蒸氣壓也低于10-8帕,。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓,。

對(duì)于室溫下的容器,，低溫板為20K時(shí)，泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍,。低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵兩種,。