無(wú)塵室(Clean Room),，亦稱為無(wú)塵室或清凈室,。它是污染控制的基礎(chǔ)?？刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣,、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度,、潔凈度,、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布,、噪音振動(dòng)及照明,、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間,。

無(wú)塵室概述

無(wú)塵室中不論外在之空氣條件如何變化,，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性,。

無(wú)塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造，此空間我們稱之為無(wú)塵室,。按照慣例,，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非*沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上,。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求,。