離子去膠機(jī) 型號：PR-3

離子去膠機(jī) 

通過等離子體方法,，對陶瓷片,、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進(jìn)行干法去除。設(shè)備為單室真空系統(tǒng),，主要由真空系統(tǒng),、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng),、射頻電源系統(tǒng),、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng),、報警系統(tǒng)等部分組成,。 
射頻電源采用RF500W電源控制。 
氣路系統(tǒng)采用兩臺浮子流量計(jì)控制氣體進(jìn)氣,。
  腔室結(jié)構(gòu)：臥式,、純石英
  真空室規(guī)格：F210´300mm
  限真空：1Pa（環(huán)境濕度≤55%）
  真空系統(tǒng):機(jī)械泵
  大裝片直徑: F4英寸
   大裝片容量：4英寸 25片/爐
  去膠速率: ～500A/min
  去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內(nèi))
  操作方式:手動方式
用戶可選配全自動控制方式

通過等離子體方法，對陶瓷片,、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進(jìn)行干法去除。設(shè)備為單室真空系統(tǒng),，主要由真空系統(tǒng),、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng),、射頻電源系統(tǒng),、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng),、報警系統(tǒng)等部分組成,。 
射頻電源采用RF500W電源控制。 
氣路系統(tǒng)采用兩臺浮子流量計(jì)控制氣體進(jìn)氣,。
  腔室結(jié)構(gòu)：臥式,、純石英
  真空室規(guī)格：F210´300mm
  限真空：1Pa（環(huán)境濕度≤55%）
  真空系統(tǒng):機(jī)械泵
  大裝片直徑: F4英寸
   大裝片容量：4英寸 25片/爐
  去膠速率: ～500A/min
  去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內(nèi))
  操作方式:手動方式
用戶可選配全自動控制方式

產(chǎn)品名稱：電子皂膜流量計(jì) 產(chǎn)品型號：BL100

電子皂膜流量計(jì) 型號：BL100

應(yīng)用領(lǐng)域：于任何氣體或液體流量的檢測,，廣泛應(yīng)用于各類實(shí)驗(yàn)室氣體流量的校準(zhǔn)，包括大氣采樣器的流量校準(zhǔn),、粉塵采樣器的流量校準(zhǔn),，玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)的校準(zhǔn)，以及各類色譜儀的流量測定,。
 
產(chǎn)品描述：
BL系列電子皂膜流量計(jì)通過其內(nèi)部的電路控制單元與敏感元件相結(jié)合來測量氣體流量,，其精度大大優(yōu)于用眼與手掐秒表測定氣體流量的做法，是取代手持式皂膜管加秒表的Z佳選擇,。該系列電子皂膜流量計(jì)液晶顯示,，具有溫度、壓力,、容積的校正功能,，用戶通過現(xiàn)場自我校正，可得出被測氣體的體積流量,，可單次測定氣體流量,，也可以對流量測定十次后取平均值。
技術(shù)參數(shù)：
Ø 測量范圍：0.1mL～100mL/min 
Ø 測量精度：△Q﹤±1％,。
Ø 測量方式：濕式 
Ø 時間范圍：0.1～1200.0s(內(nèi)部計(jì)算精確到0.01秒),。
Ø 內(nèi)裝標(biāo)稱值為8.4V、1200mA/h的充電電池,，充滿電后待機(jī)時間﹥300小時,。
充電次數(shù)﹥500次。
Ø 使用環(huán)境：0～45℃,；0～70%RH（無結(jié)露）
Ø 重量：約950 g