等離子清洗機(jī)頻率

等離子清洗機(jī)在金屬,、塑料凳行業(yè)應(yīng)用廣泛。那等離子清洗機(jī)常用的頻率是哪些呢,？
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常用的等離子清洗機(jī)的等離子體激發(fā)頻率有三種：激發(fā)頻率為40HZ的等離子體為真空等離子體,，13.56MHZ的等離子體為常壓寬幅等離子體，2.45GHZ的等離子體為大氣等離子體,。
不同等離子清洗機(jī)的等離子體產(chǎn)生的偏壓是不一樣的,，三種不同的等離子清洗機(jī)的等離子體機(jī)制不同。真空等離子體發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng),，常壓寬幅等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有化學(xué)反應(yīng)又有物理反應(yīng),，大氣則是化學(xué)反應(yīng)。

等離子清洗機(jī)頻率
真空等離子體清洗對(duì)被清潔表面產(chǎn)生的影響大,，因而實(shí)際半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用中大多采用水平真空等離子清洗機(jī),。而常壓寬幅則應(yīng)用于表面除膠、毛刺打磨等處理方面效果更佳,，典型的等離子體物理清洗工藝是在反應(yīng)腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗,；氬氣本身是惰性氣體,，等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應(yīng)，而是通過(guò)離子轟擊使表面清潔,。

典型的等離子體化學(xué)清洗工藝是氧氣等離子體清洗,。通過(guò)等離子體產(chǎn)生的氧自由基非常活潑,，容易與碳?xì)浠衔锇l(fā)生反應(yīng),，產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發(fā)物,，從而去除表面的污染物,。 以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，也叫做濺射腐蝕（SPE）或離子銑（IM）,，其優(yōu)點(diǎn)在于本身不發(fā)生化學(xué)反應(yīng),，清潔表面不會(huì)留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學(xué)純凈性,，還有一種等離子體清洗是表面反應(yīng)機(jī)制中物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)都起重要作用,，
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