PR-3 離子去膠機
- 公司名稱 北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司
- 品牌
- 型號 PR-3
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時間 2024/9/25 11:32:03
- 訪問次數(shù) 881
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天鷹一號酒精測試儀,,BOD快速測定儀 ,,紅外測油儀 ,乳品雜質(zhì)度檢測儀,,智能磨音測量儀,,射流萃取器,氣體采樣鋼瓶,,紫外找礦燈 ,,ATP熒光檢測儀,聲波水深儀,,聲波強度測量儀,,電動機經(jīng)濟運行測試儀,罐底焊縫真空檢測盒,,微生物檢驗系統(tǒng)
應用領域 | 能源 |
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離子去膠機 型號:PR-3
通過等離子體方法,,對陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進行干法去除。設備為單室真空系統(tǒng),,主要由真空系統(tǒng),、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng),、射頻電源系統(tǒng),、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng),、報警系統(tǒng)等部分組成,。
離子去膠機射頻電源采用RF500W電源控制。
氣路系統(tǒng)采用兩臺浮子流量計控制氣體進氣,。
腔室結(jié)構(gòu):臥式,、純石英
真空室規(guī)格:F210´300mm
限真空:1Pa(環(huán)境濕度≤55%)
真空系統(tǒng):機械泵
大裝片直徑: F4英寸
大裝片容量:4英寸 25片/爐
去膠速率: ~500A/min
去膠不均勻性:≤±5% (φ4吋范圍內(nèi))
操作方式:手動方式
用戶可選配全自動控制方式
![]() | 產(chǎn)品名稱:標準型勻膠機 臺式勻膠機 產(chǎn)品型號:SC-1B |
標準型勻膠機 臺式勻膠機 型號:SC-1B
SC-1B標準型勻膠機主要適用于半導體硅片、晶片,、ITO導電玻璃、光學玻璃等工藝制版及表面涂覆,,各種光刻膠表面膜制備,。
采用變頻技術(shù)控制旋涂速度與時間,有效控制膠的厚度,、均一性,。可應用于各研究領域前期研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn),。
主 要 技 術(shù) 指 標1. 控制顯示:LED數(shù)字控制器,,用戶可通過控制器進行參數(shù)修改設置
2. 勻膠模式:可同時輸入七組數(shù)值,即轉(zhuǎn)速及勻膠時間可任意設置為Ⅰ檔,、Ⅱ擋,、……Ⅶ檔,轉(zhuǎn)速啟動后先低速運轉(zhuǎn)(Ⅰ檔),,然后自動執(zhí)行Ⅱ檔,、……Ⅶ檔,直至達到高速運轉(zhuǎn),。
3.勻膠時間:1~9999s任意時間可設置
4.勻膠速度:0~8000rmp可調(diào)
5.旋轉(zhuǎn)加速度:0~8000rpm/sec 由低速到高速加速時間0.1s~0.5s
6.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1rmp
7.涂膠均勻性:±3%
8.可鍍膜尺寸:Ф5~Ф150mm(6〞)
9.基片厚度: ≤5mm
配 置 參 數(shù)1.設備配置Ф200mm接膠裝置
2.電機功率:90W,,額定轉(zhuǎn)速8000rmp
3.真空泵:FY-1C旋片式真空泵,抽速60L/min(用戶可選配無油型真空泵)
4.樣片托:標配1英寸一個,,2英寸一個,,其它規(guī)格按要求定制
5.輸入電源: AC220V/240V 50HZ
6.整機功率:100W
7.機身尺寸: 280×360×240mm
8.機身重量:10Kg
自動運動粘度毛細管清洗機 型號: DSL-265H
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