美國api XD3LS激光干涉儀

激光干涉儀 激光干涉儀介紹：

激光干涉儀 激光干涉儀,，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量,。介紹 激光具有高強度,、高度方向性、空間同調(diào)性,、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點,。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主,，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡,、反射鏡等來作線性位置,、速度、角度,、真平度,、真直度、平行度和垂直度等測量工作,，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作,。分類激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發(fā)出的光束,，經(jīng)擴束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋,。當(dāng)可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,，經(jīng)整形,、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數(shù)),，算出可動反射鏡的位移量L,。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果,。雙頻激光干涉儀 在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場,。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng), 激光器產(chǎn)生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光,。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束,。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為僅含有f1的光束,另一路成為僅含有f2的光束,。當(dāng)可動反射鏡移動時,含有f2的光束經(jīng)可動反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號表示移動方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的,，即波的頻率在波源或接受器運動時會產(chǎn)生變化),。這路光束和由固定反射鏡反射回來僅含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件,、放大器,、整形器后進入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號。經(jīng)可逆計數(shù)器計數(shù)后,，由電子計算機進行當(dāng)量換算（乘 1/2激光波長）后即可得出可動反射鏡的位移量,。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上,，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,，所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機,、三坐標(biāo)測量機,、光刻機和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測長機,、高精度三坐標(biāo)測量機等的測量系統(tǒng),。利用相應(yīng)附件，還可進行高精度直線度測量,、平面度測量和小角度測量,。

API XD Laser激光干涉儀的組成:
XD Laser激光干涉儀是在LMS激光干涉儀的基礎(chǔ).上進行了改進,。將控制箱集成到激光頭里,將原先的有線數(shù)據(jù)傳輸改為全程無
線數(shù)據(jù)傳輸,。因此,、XD Laser激光干涉儀是由激光頭、傳感器,、氣象站,、筆記本電腦和連接整個系統(tǒng)的電纜組成。

XD Laser激光干涉儀技術(shù)綜述:
●1D激光主要可以測量定位誤差
●3D激光可以測星定位誤差,、直線度誤差(雙向)
●5D/6D激光可以測星定位誤差,、直線度誤差(雙向)、偏擺角,、俯仰角和滾動角

主要特點:
一同時測量線性定位誤差,、直線度誤差(雙軸)、偏擺角,、俯仰角和滾動角
一設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
一可選的無線遙 控傳感器長的控制距離可到25米
一可測星速度,、 加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性,。
-設(shè)計緊湊,、體積小,測量機床時不需三角架
一集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時間

產(chǎn)品特點：
1、XD-3D激光干涉儀有一個良好緊湊的激光頭(內(nèi)置控制器),。激光頭在測量安裝上非常方便,，用戶可以直接將它安裝在機床上，靈活的安裝方式給予用戶很大的靈活性,。該系統(tǒng)的主要部件有激光頭(包括干涉鏡組,、激光控制部件和以太網(wǎng)通信模塊、電源),、環(huán)境傳感器（稱為氣象站）,、反射鏡（XD-3D配置）.

2、API干涉儀激光頭,、干涉鏡,、控制器放在了主機一體，直接從主機出光配合反射鏡兩點調(diào)光的測量,，其它廠家,，激光頭、干涉鏡,，反射鏡分成了三個部分,，在調(diào)整一個線性上是三點對光的調(diào)整，*,，兩點對光比三點對光更方便快捷,。

3、XD-3D激光干涉儀一次安裝可以同時測量機床的多個參數(shù),，相比于傳統(tǒng)的激光干涉儀,，測量中不需要更換鏡組,，不要重新調(diào)整光路，大大提高了測量效率,。

4,、配垂直度附件的XD-3D系統(tǒng)，只需要兩次安裝,，就可以得到兩根被測軸線各自的線性精度（定位精度,、重復(fù)定位精度、反向間隙）,、水平方向直線度,、垂直方向直線度以及兩軸之間的垂直度共7個參數(shù)，節(jié)省測量時間80%以上,。

5,、XD-3D激光干涉儀做直線度測量的時候，可以同時測量被測導(dǎo)軌水平和豎直兩個方向的直線度,?？梢詫崿F(xiàn)準(zhǔn)直儀的功能，利用其可以實現(xiàn)長導(dǎo)軌安裝中直線度（水平和豎直）兩個方向的實時調(diào)整,，調(diào)整過程中不受光路斷光的影響,。

XD Laser被來自世界名地的API用戶用于:
、CMMICNC的校準(zhǔn),、 補償
機床導(dǎo)軌平行度的測量
,、旋轉(zhuǎn)額的測量
垂直度的測量
、對角線的測量
,、CNC反饋
,、機器人位置反饋: