作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器,，其主要目的是對樣品進(jìn)行缺陷檢測。

而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯誤的存在,。Park NX20,，這款精密

的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性,，在半導(dǎo)體和超平樣品行

業(yè)中大受贊揚(yáng),。

具備無二的功能，可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因,，并幫助

客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案,。的精密度為您帶來高分辨率數(shù)

據(jù)，讓您能夠更加專注于工作,。與此同時，真正非接觸掃描模式讓探針*更耐用,，無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和金錢,。

Park NX20 原子力顯微鏡?擁有業(yè)界為便捷的設(shè)計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量

的時間和精力,，也不用為此而時時不停的指導(dǎo)初學(xué)者,。借助這一系列特點，您

Park NX20 原子力顯微鏡?可以更加專注于解決更為重大的問題,，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告,。

■缺陷檢查成像和分析

■高分辨率電子掃描模式

■對樣品和基片進(jìn)行表面粗糙度測量

■樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測量

■非接觸模式，降低針尖磨損,，減少換探針時間

■非接觸模式下的快速缺陷成像

■業(yè)內(nèi)的三維結(jié)構(gòu)測量的解耦XY掃瞄系統(tǒng)

■通過使用熱匹配的組件,，盡量減少系統(tǒng)漂移和遲滯現(xiàn)象

■在一般用途和缺陷成像中，具有普通掃描模式10倍或更長的針尖使用壽命

■減少針尖的*摩損

■真實的再現(xiàn)樣品微觀三維形貌,，減少樣品在掃描過程中的損壞或變形