SONIX™公司是世界500強丹納赫集團(NYSE: DHR)下的全資子公司,，是超聲波掃描檢測儀和無損檢測設(shè)備的制造商。 自1986年成立以來,，SONIX™在無損檢測領(lǐng)域中不斷改革創(chuàng)新,，是*家基于微機平臺，提供全數(shù)字化成像方案的公司,。 SONIX,？ 設(shè)備被廣泛應用于各種材料的無損檢測，包括半導體,，汽車零件和其他良好元件,。 擁有獨立開發(fā)的軟件，硬件和**技術(shù),，這么多年來通過和客戶的不斷合作,，實現(xiàn)了SAM技術(shù)的持續(xù)改進。

AutoWafer Pro™: Ultrasonic Equipment for NDT of Bonded Wafers

SONIX AutoWafer Pro™ 是專為全自動晶圓檢測設(shè)計的機型,，主要應用在Bond wafer，MEMS 內(nèi)部空洞,、離層檢測,，TSV量測方面。
● 使用于200和300mm晶圓
● 符合一級凈化間標準● Cassette裝載,，全自動檢測,，支持FOUP或FOSB機械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協(xié)議
● KLARF輸出文件