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奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡

通過整合光學(xué)顯微鏡和*的測量能力實現(xiàn)精確測量
多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗成就了優(yōu)異的觀察性能STM7奧林巴斯測量顯微鏡系列采用了當前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學(xué)系統(tǒng),。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,，此外,，像差也被*消除，以確保實現(xiàn)對微小細節(jié)的高精度測量,。

STM7測量顯微鏡系列采用了當前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學(xué)系統(tǒng),。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,，此外,，像差也被*消除，以確保實現(xiàn)對微小細節(jié)的高精度測量。

花崗巖精雕細琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性

作為高度測量的先鋒,，繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量

嚴格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度,。并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務(wù)。

測量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)

設(shè)計注重易用性
提供載物臺以適合眼下的樣本大小
[常見問題]
? 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求,。
? 目前為止,，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小,。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,，這樣的做法費事費時，效率不高,。
? 由于可測量的范圍窄,，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實現(xiàn)一次性同時測量,。
[STM7解決方案]
    共有四種*的正方形測量行程的載物臺可供選用,，分別為：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm,、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm,。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品,。
? 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實現(xiàn)快速切換,。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動,，并且可以在XY平面上自由穿梭,。
? 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量,，比如300 mm的晶圓和印刷電路板,。

使用相同的顯微鏡進行低倍率和高倍率觀察
[常見問題]
大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以測量物鏡或金相物鏡，無法同時滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
 

可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡,，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后,，便可使用金相物鏡。這意味著,， STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測量光學(xué)系統(tǒng)同時結(jié)合在一臺測量顯微鏡中,。通過這種方式，無論是測量大型樣品還是精細樣品,，或是表面高度差異大的樣品,，STM7系列都可以對應(yīng)并協(xié)助用戶選擇更佳的觀察方法。
測量物鏡
由于測量物鏡具有非常長的工作距離,，因此可以在對表面起伏較大的樣品進行聚焦的時候,，無需擔心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,，借助測量物鏡的低倍率能力,，可以一次觀察到較大的視場。

金相物鏡
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力,。更重要的是,，在明場觀察之外還可以對應(yīng)暗場，偏光和微分干涉觀察,。

手動和電動調(diào)焦模式的選擇
包括手動調(diào)焦和電動調(diào)焦兩個系列
對于Z軸的上下調(diào)焦,，有手動型和電動型兩種系列供您選擇。請根據(jù)樣品和測量內(nèi)容選擇符合您需求的機型,，而不需要考慮載
物臺的尺寸,。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標尺，各種型號STM7都可以對應(yīng)3軸測量,。

一個具有突破性設(shè)計的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性
[常見問題]
? 增加功能時需要添置額外的操作單元。操作者需要同時操作多個單元而導(dǎo)致無法高效率地進行測量,。操作時也經(jīng)常會發(fā)生找不到操作單元的情況,。
? 增加功能時需要添置額外的操作單元。操作者需要同時操作多個單元而導(dǎo)致無法高效率地進行測量,。操作時也經(jīng)常會發(fā)生找不到操作單元的情況,。
[STM7解決方案]
控制裝置
對于STM7系列,，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測量顯微鏡操作，包括重置計數(shù)器,、照明控制,、調(diào)焦和自動聚焦等功能。為了提高效率和方便性,，您可以將裝置放在任何想要放置的位置,，并可以輕松地單手操作。

控制箱
各個單元的電源和通信均被集成在一個單一的控制箱中,。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設(shè)計可以更大程度地減少占用工作空間,。
大大提高了觀察和測量效率的光源管理器
[常見問題]
? 傳統(tǒng)測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實現(xiàn)光強的定量控制。這樣每次測量時的光強無法保持*,，導(dǎo)致測量值也發(fā)
生變化,。
? 使用傳統(tǒng)測量顯微鏡時,，每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強,，這使得工作流程非常低效,。
[STM7解決方案]
能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示

物鏡切換時,，無需手動調(diào)節(jié)光強
光強度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用,。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會自動識別目前使用的物鏡,，結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)
值功能,，可以為每個物鏡注冊照明方式和光強,。這樣每當切換物鏡后,，可以自動調(diào)節(jié)光強和調(diào)整照明方式,。象以前每次
切換倍率后手動調(diào)節(jié)光強的操作,，現(xiàn)在就可以省略了,。

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計數(shù)器，確保能隨時迅速地檢查測量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài),。
[常見問題] 
需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運行狀以及測量結(jié)果時，因為是在不同單元上顯示使操作變得非常繁瑣,。
[STM7解決方案]
能一目了然確認當前狀態(tài)的計數(shù)器
計數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈，可以簡單的實現(xiàn)對設(shè)備當前設(shè)定狀態(tài)的確認,。X、Y和Z軸的小單位可以在
0.1 μm和1 μm之間切換,，此外，還可以在毫米,、微米,、英寸和密耳之間切換顯示單位,。
可滿足個性化需求自由放置的可拆卸式計數(shù)器
無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上,，可拆卸式計數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在適合位置。當用戶站
著進行測量時,，可以將計數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè)，以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果,。當用戶通過數(shù)碼相
機在顯示器上進行觀察和測量，或使用電動Z軸調(diào)焦機型時,，只需將計數(shù)器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進
行作業(yè),。

高度測量：聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
實現(xiàn)更快,、更簡單,、更精確的高度測量
[[常見問題]
進行目視測量時，不同的操作者會測得不同的高度測量值,。此外，這種測量方法非常耗時,，效率低下。
[STM7解決方案]
具有*的重復(fù)性,、簡單且高度精確的聚焦系統(tǒng)
通過將圖案投影在視場范圍內(nèi),，由操作者確認上下圖案的重合情況,，奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測量操作。普通的目測觀察進行高度測量時,，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)*合焦的圖像，也會出現(xiàn)微小誤差,。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)，只需匹配標記便可進行測量,，因此減少了操作者的主觀性對測量結(jié)果造成的影響。
目視高度測量

聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)

自動聚焦的優(yōu)勢成就快速,、高精度的高度測量
[常見問題]
? 進行目視測量時,，不同的操作者得出的高度測量結(jié)果也會不一樣,。
? 手動高度測量需要操作者反復(fù)進行移動載物臺,，使用旋鈕調(diào)焦的操作，這使測量既耗時又低效,。
? 很難對微小的物體聚焦，比如引線,。
[STM7解決方案]
快速、精準的聚焦和不受操作者主觀影響的測量
奧林巴斯開發(fā)了STM7系列的自動聚焦單元,，該單元在實現(xiàn)快速聚焦的同時，保障了的對焦重復(fù)性,。因此，無論操作
者的經(jīng)驗如何,，均可以在很短的時間內(nèi)實現(xiàn)高度精確的高度測量,。無論操作者的經(jīng)驗如何，使用STM7自動對焦單元均可
以在短時間內(nèi)實現(xiàn)高度精確的高度測量,。即使是粗糙或傾斜的樣品表面,，利用主動反射,、共聚焦方法都可以實現(xiàn)穩(wěn)定對焦,，而小直徑的激光,，也能保證對微小物體,，比如引線的自動對焦。

單次對焦模式
執(zhí)行自動聚焦后,，可瞬間完成從大致的聚焦狀態(tài)轉(zhuǎn)為視場中心的清晰對焦,。
跟蹤模式
啟用具有特色的追蹤模式后會隨樣品表面的高低起伏自動對焦,，即使在移動工作臺的情況下，也可以始終保持合焦狀態(tài),。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情況下也能實施觀察,，從而很大地提高了Z軸的測量效率。
拓寬了測量觀察范圍的配件
編碼物鏡轉(zhuǎn)換器

MM6-EMO正像單目鏡筒

STM7-FS腳踏開關(guān)

SZ-LW61白光LED照明裝置

SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環(huán)形照明+手動控制裝置

旋轉(zhuǎn)載物臺
使用微調(diào)旋鈕可以輕松實現(xiàn)對樣品的平行對齊,。

測量支持系統(tǒng)
即使對復(fù)雜形狀也能實現(xiàn)更快、更簡單,、更精確的測量
對于顯示測量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量,。為了支持高精度,、高復(fù)雜性的測量,，奧林巴斯測量軟件可以和數(shù)碼照相機結(jié)合使用,。
 

STM7規(guī)格

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時,，可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

物鏡工作距離