Solaris Eclipse 快速退火爐系統(tǒng)SS
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Solaris Eclipse
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/5/17 8:23:23
- 訪問次數(shù) 1574
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勻膠機(jī),,光刻機(jī),,顯影機(jī),等離子清洗機(jī),,紫外臭氧清洗機(jī),,紫外固化箱,壓片機(jī),,等離子去膠機(jī),,刻蝕機(jī),,加熱板
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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美國RTP系列的快速退火爐溫度均勻度≤1%,,處理的大尺寸可以達(dá)到200mm,溫度可以達(dá)到1200攝氏度,,處理過程可以在真空環(huán)境或者惰性氣體的環(huán)境中執(zhí)行,,做多可支持4~6路進(jìn)氣,可以用到的氣體包含N2,,O2,,N2H2,Ar和H2,。
- 處理時間:0.1秒至無*,;
- 燈管數(shù)量及功率:13支,
- 腔體冷卻:風(fēng)冷方式,;
- 襯底冷卻:氮?dú)獯祾撸?/span>
- 工藝氣路:MFC控制,,多6路 (氮?dú)狻鍤?、氧氣,、氫氮混合氣?/span>);
應(yīng)用領(lǐng)域:
快速熱退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA);
快速熱氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO);
快速熱氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN);
硅化 (Silicidation);
擴(kuò)散 (Diffusion);
化合物半導(dǎo)體退火 (Compound Semiconductor Annealing);
離子注入后退火 (Implant Annealing);
電極合金化 (Contact Alloying);
晶向化和堅(jiān)化 (Crystallization and Densification);