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Solaris Eclipse 快速退火爐系統(tǒng)SS

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 Solaris Eclipse
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2024/5/17 8:23:23
  • 訪問次數(shù) 1574
產(chǎn)品標(biāo)簽

真空退火爐快速退火爐

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半導(dǎo)體化工領(lǐng)域?qū)I(yè)實(shí)驗(yàn)設(shè)備供應(yīng)商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實(shí)驗(yàn)室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商,,邁可諾從事開發(fā),、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)并營銷質(zhì)量可靠的,、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù),,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出更好的選擇和決定,,尊重他們的決定,,并協(xié)助他們實(shí)現(xiàn)高效率的科研成果,,追求豐富有意義的生活。




勻膠機(jī),,光刻機(jī),,顯影機(jī),等離子清洗機(jī),,紫外臭氧清洗機(jī),,紫外固化箱,壓片機(jī),,等離子去膠機(jī),,刻蝕機(jī),,加熱板

應(yīng)用領(lǐng)域 電子

 

美國RTP系列的快速退火爐溫度均勻度≤1%,,處理的大尺寸可以達(dá)到200mm,溫度可以達(dá)到1200攝氏度,,處理過程可以在真空環(huán)境或者惰性氣體的環(huán)境中執(zhí)行,,做多可支持4~6路進(jìn)氣,可以用到的氣體包含N2,,O2,,N2H2ArH2,。

- 處理時間:0.1秒至無*,;

- 燈管數(shù)量及功率:13支,

- 腔體冷卻:風(fēng)冷方式,;

- 襯底冷卻:氮?dú)獯祾撸?/span>

- 工藝氣路:MFC控制,,多6 (氮?dú)狻鍤?、氧氣,、氫氮混合氣?/span>)

應(yīng)用領(lǐng)域:

快速熱退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA);

快速熱氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO);

快速熱氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN);

硅化 (Silicidation);

擴(kuò)散 (Diffusion);

化合物半導(dǎo)體退火 (Compound Semiconductor Annealing);

離子注入后退火 (Implant Annealing);

電極合金化 (Contact Alloying);

晶向化和堅(jiān)化 (Crystallization and Densification);

 

相關(guān)分類

氧化擴(kuò)散設(shè)備


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