可控環(huán)境型微納米力學測試系統(tǒng),超納米壓痕儀,納米壓痕儀,動態(tài)超顯微硬度計,超顯微硬度計,納米硬度計,納米劃痕儀,顯微劃痕儀,大載荷劃痕儀,納米摩擦儀,摩擦儀,摩擦試驗機,高溫摩擦試驗機,真空摩擦試驗機,膜厚儀,球磨儀,高精度臺階儀,三維微納米輪廓儀,原子力顯微鏡,，薄膜應力測量儀，全息顯微鏡,，激光測振儀,，激光干涉儀,，激光測速儀,，光譜型橢偏儀,，掃描霍爾探針顯微鏡，精密d33測試儀,，薄膜d33測試儀，高溫介電測量系統(tǒng),，表面等離子體共振儀,，激光拉曼顯微鏡PCT測試儀,，碳納米制備系統(tǒng),，原子層沉積系統(tǒng),，電子束蒸發(fā)系統(tǒng)熱蒸發(fā)系統(tǒng)超高真空蒸發(fā)系統(tǒng)磁控濺射系統(tǒng)分子束外延系統(tǒng) MBE有機分子束沉積 OMBD等離子增強化學氣相淀積系統(tǒng) PECVD電子回旋共振等離子體增強化學氣相沉積 ECR-PECVD低能離子減薄儀,，離子減薄儀,，拋光機,，精密切片機，微熱臺