ATI-1000S型高溫半導(dǎo)體體積電阻率測試儀主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評估和測試,，該系統(tǒng)采用四線電阻法測量原理進(jìn)行設(shè)計開發(fā)，可以在高溫,、真空氣氛的條件下測量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線,。半導(dǎo)體體積電阻率測試儀目前主要針對圓片,、方塊、長條等測試樣品進(jìn)行測試,，可以廣泛用于半導(dǎo)體材料硅（si）,、鍺（ge）,化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦（InSb）,，三元化合物半導(dǎo)體GaAsAl,、GaAsP，固溶體半導(dǎo)體,，如Ge-Si,、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量。

技術(shù)參數(shù)：

溫度范圍：RT-1000℃

升溫斜率：0-10℃/min (典型值：3℃/min)

控溫精度：±0.5℃

電阻測量范圍：0.1mΩ~1MΩ

電阻率測量范圍：100nΩ..cm~100KΩ .cm

測量環(huán)境：惰性氣氛,、還原氣氛,、真空氣氛

測量方法：四線電阻法

測試通道：單通道

樣品尺寸：10mmx10mmX20mm或φ＜20mm ,d＜5mm

電極材料：上電極半圓型鉑金電極，下電極平板型鉑金電極

絕緣材料：99氧化鋁陶瓷

數(shù)據(jù)存儲格式：TXT文本格式

數(shù)據(jù)傳輸：USB

符合標(biāo)準(zhǔn)：ASTM

供電：220V±10%,，50Hz

工作溫度：5℃ 至 + 40 ℃,；

存儲溫度：–40 ℃ 至 +65 ℃

工作濕度：+40 ℃ 時，相對濕度高達(dá) 95%（無冷凝）

設(shè)備尺寸：400x450x580mm

重量：38kg

產(chǎn)品特點：

■ 高溫爐膛,、測量夾具,、測量軟件等集成于一體,，讓操作變得更加簡單，測量精度則會更高,；

■ 觸摸屏控制和顯示,，同時支持外接鍵盤和鼠標(biāo)操作，滿足多樣化需求,；

■ ATI電阻率測量軟件兼容世界主流儀表Keithley 2400,，擴(kuò)展應(yīng)用更加方便；

■ 可以實現(xiàn)常溫,、高溫,、真空、氣氛條件下測量半導(dǎo)體材料的電學(xué)性能,；

■ 專業(yè)的測量軟件,，可以測量半導(dǎo)體材料的方塊電阻和電阻率；

■ 進(jìn)口纖維一體開模鑄造的高溫爐膛,，高耐溫1100℃,；

■ 內(nèi)膽采用進(jìn)口金屬材料，耐高溫,、抗氧化,，可實現(xiàn)常溫、高溫,、真空,、流動氣氛等多種試驗環(huán)境下的電學(xué)測量,；

■ 為了減小高溫下導(dǎo)線受電爐絲的交流信號干擾而建立了金屬屏蔽罩,，有效減小外部信號的干擾和增加測試頻率帶寬；

■ 采用九點控溫法,，以傳感器為中心點,，其半徑20mm的圓環(huán)上均勻鋪設(shè)八個溫度采集點，九個溫度點范圍內(nèi)采集到的溫度大溫差為1℃,，此范圍為樣品測試的佳溫區(qū),；

■ 彈簧夾具設(shè)計，彈簧的可壓縮性既不損傷樣品又能實現(xiàn)樣品的良好接觸,；

■ 上電極半球狀+下電極平板狀結(jié)構(gòu)設(shè)計,，可以精確定位測量被測樣品某一點；

■ 控溫和測溫采用同一個傳感器,，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度,；

■ 采用九點控溫法，九個溫度點范圍內(nèi)采集到的溫度大溫差為1℃,，此范圍為樣品測試的佳溫區(qū),；

■ 電極支撐和屏蔽采用進(jìn)口合金材質(zhì),，利用葉片設(shè)計可以很好解決因平臺帶來的熱弛豫影響；

■ 可以測量半導(dǎo)體材料的方塊電阻,、電阻率,，實現(xiàn)常溫、變溫,、恒溫條件的I-V,、R-T、R-t等測量功能,；

■ 操作簡單,，功能強大的測量軟件，可以通過輸入樣品的面積和厚度,，軟件自動計算樣品的電阻率ρv,；

■ 智能化控制，可自動調(diào)節(jié)施加在樣品的測試電壓,，以防樣品擊穿,；

■ 采用新的RAM嵌入式開發(fā)平臺，可以進(jìn)行在線升級,、遠(yuǎn)程協(xié)助及故障診斷,；

■ 測量軟件*設(shè)計；