高低溫真空探針臺(tái)
- 公司名稱 上海昊量光電設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2021/6/2 9:46:18
- 訪問(wèn)次數(shù) 2794
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激光器調(diào)制器,激光測(cè)量加工設(shè)備,光學(xué)部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測(cè)器光子計(jì)數(shù)器,專(zhuān)用實(shí)驗(yàn)設(shè)備,相機(jī)
產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,道路/軌道/船舶,航空航天 |
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高低溫真空探針臺(tái)
高低溫真空探針臺(tái)概述
M5VC真空探針臺(tái)可實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測(cè)量,真空腔一體成型,,具有設(shè)計(jì)合理,,真空度穩(wěn)定,溫控精度及機(jī)械精度高等特點(diǎn),;根據(jù)測(cè)試溫度范圍不同,,可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件,溫度可達(dá)到1000℃,,低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件,,溫度可低至77K/10K,,;真空系統(tǒng)可選機(jī)械泵或分子泵系統(tǒng),,真空度可達(dá)到10-3Torr或10-6Tor。
應(yīng)用
可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析,,如:半導(dǎo)體/微電子,,電子,機(jī)電,,物理,,化學(xué),材料,,光電,,納米,微機(jī)電/MEMS,,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,,以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝,、LED、LCD/OLED,、LD/PD,、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域,。
技術(shù)參數(shù)
顯微鏡配置 顯微鏡/視頻顯微鏡
顯微鏡 放大倍數(shù)50倍
視頻成像配置 CCD成像系統(tǒng),,放大倍數(shù)300倍
樣品臺(tái)尺寸80mm 漏電電流<10fA
真空室真空度 10-3Torr (10-6Torr或更高可選)
探針座配置 x/y/z行程40mm 精度 1μm
探針配置 尺寸 0.5X30mm 材質(zhì) 金
溫度范圍 77K-570K 液氮制冷 10K-570K 液氦制冷 溫度可到1000K
觀察窗尺寸 100mm
真空系統(tǒng) 機(jī)械泵或分子泵
接口配置 三同軸
測(cè)試源表 連接各類(lèi)測(cè)試源表,并可進(jìn)行相應(yīng)的軟件二次開(kāi)發(fā),,加大系統(tǒng)整合性及測(cè)試穩(wěn)定性