Triton160一體式等離子清洗機(jī)

應(yīng)用領(lǐng)域

I 金屬鍵合(wire-bond)前的等離子清洗

通過等離子表面處理可以去除焊盤表面的外來污染物與金屬氧化物,，提供一個(gè)清潔的焊接面，提升后續(xù)金屬鍵合工藝的良率以及鍵合強(qiáng)力,。

II 塑封(Molding)前的等離子清洗

等離子清洗,、活化工藝可以去除器件表面各種納米級(jí)的污染物殘留，并提升表面能,，保證塑封料與基底材料的緊密結(jié)合,，減少分層等不良的產(chǎn)生。

III 底部填充(Underfill)前的等離子清洗：

通過等離子表面處理可以去除焊盤表面的外來污染物與金屬氧化物,，提供一個(gè)清潔的焊接面,，提升后續(xù)金屬鍵合工藝的良率以及鍵合強(qiáng)力。

IV 光刻膠的去除(Descum)：

在微電子行業(yè)中,，使用等離子去除光刻膠是一種常用的工藝,，通過等離子處理可以去除顯影后孔底的殘膠，并對(duì)孔的側(cè)壁形貌就行修飾,，提升后續(xù)工藝良率,。此外，濕法去膠后,，用等離子去除表面殘留的納米級(jí)光刻膠殘留也可有效提升后續(xù)工藝良率,。

Triton160一體式等離子清洗機(jī)

設(shè)備特點(diǎn)

• 13.56MHz射頻電源與自動(dòng)匹配系統(tǒng),，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復(fù)性

• 靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案,，確保大批量處理的均勻性

• 精準(zhǔn)安全的反應(yīng)源供應(yīng)系統(tǒng),，可滿足多種工藝需求

• PLC與工控機(jī)提供穩(wěn)定的過程控制，設(shè)備運(yùn)行的實(shí)時(shí)參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)

• 系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,，易于保養(yǎng)與維護(hù)