S49 31/MT 質(zhì)量流量計(jì)
- 公司名稱 南京皓而普分析設(shè)備有限公司（愛爾蘭AGC南京辦事處）
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 內(nèi)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/6/12 10:57:54
- 訪問次數(shù) 1645
聯(lián)系方式：高群策18221600012,；13913823360 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 |
|---|
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制,。質(zhì)量流量計(jì)（Mass Flow Meter縮寫為MFM）,用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量,。
S49 31/MT 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)：
☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON?,、聚四氟乙烯等,。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作,。低壓降。工作壓力范圍寬,，氣體流量不因溫度,、壓力的變化而變化。
☆具有精度高,、重復(fù)性好,、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng),、工作穩(wěn)定可靠,。
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示,，使用方便,。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。
☆配合MT-60 系列流量積算儀,，可對氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行精確計(jì)量,。
S49 31/MT 質(zhì)量流量計(jì) 和質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；
分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制,；
各種形式的真空鍍膜設(shè)備,；
環(huán)境檢測與分析設(shè)備；
化工,、石化,、食品、冶金,、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制,；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等,。
2,、S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)型號(hào)
S49 31 系列質(zhì)量流量控制器，S49為質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品,，31/MT為本公司此產(chǎn)品設(shè)計(jì)序列號(hào),。
其中：S49 31/MT 系列為質(zhì)量流量控制器,。
S49 31A/MT 系列為質(zhì)量流量計(jì),。
質(zhì)量流量計(jì)用于氣體質(zhì)量流量精確測量計(jì)量；質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計(jì)的測量計(jì)量功能,，還具有自動(dòng)控制氣體流量的功能。
3,、 主要技術(shù)指標(biāo)
質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器流量出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。
質(zhì)量流量單位為：標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)mL/min （毫升/分鐘） （SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）,；
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)L/min （升/分鐘）（SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）。
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：溫度----0℃,；
氣壓----101325Pa
F.S(Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計(jì)技術(shù)指標(biāo)
編號(hào) | 項(xiàng)目 | S49 31/MT | S49 31A/MT |
1 | 流量規(guī)格 | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min | |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 |
|
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 |
|
4 | 準(zhǔn)確度 | ±1%F.S(10mL/min～5L/min規(guī)格,，其余規(guī)格≤±2% F.S) | |
5 | 線性 | ±1.0%F.S,，±1.5%F.S | |
6 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | |
7 | 響應(yīng)時(shí)間 | (3～4)s | |
8 | 工作壓差范圍 | (0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min | |
9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa | |
10 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃～45℃ | |
11 | 材料 | 不銹鋼316L | |
12 | 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 | Viton?， EPDM,， 或其他由用戶 | |
13 | 漏率 | 1×10-9atm.mL/s (He) | |
14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其他 | |
15 | 輸入輸出信號(hào) | 0V～＋5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA) | |
16 | 供電電源 | ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） | |
17 | 外形尺寸mm | 134×134×38 | |
18 | 重量kg | 1.0 | |
S49 31A/MT系列質(zhì)量流量計(jì)外形及安裝尺寸
S49 31/MT 系列質(zhì)量流量計(jì)的接線插頭
采購中心
化工儀器網(wǎng)