VTC-200-CE半柜式清洗機
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 沈陽
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2021/12/1 10:43:38
- 訪問次數(shù) 2076
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦 |
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VTC-200-CE半柜式清洗機采用直線導(dǎo)軌控制柱狀液流沿 wafer.半徑方向來回掃動,同時配備有去離子水淸洗和氮氣吹干功能,采用高精度伺服電機控制 wafer的旋轉(zhuǎn),由七寸全彩觸屏進行操作,全不銹鋼機柜,耐腐蝕透明觀察蓋,絲桿直線導(dǎo)軌,不銹鋼內(nèi)腔,設(shè)計合理,經(jīng)久耐用,。伺服馬達控制旋轉(zhuǎn)速度和時間,自動控制顯影,、清洗和吹干,顯影/清洗均勻性和重復(fù)性好。
1,、不銹鋼半柜式設(shè)計,,觸摸屏操作
2、透明觀察窗,,帶排廢和抽風(fēng)功能
3,、可移動式直線導(dǎo)軌清洗,,行程可定制
4、最多可配備四路清洗或氮氣吹干系統(tǒng)
5,、可處理基片尺寸上限為8寸晶圓,,向下兼容
6、更大尺寸可定制
產(chǎn)品名稱 | VTC-200-CE半柜式清洗機 | |
產(chǎn)品型號 | VTC-200-CE | |
主要參數(shù) | 1,、旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)范圍:20-10000rpm 2、加速度可調(diào)范圍:0-50000rpm/s 3,、標(biāo)配直線導(dǎo)軌行程:100mm,;移動速度上限:100mm/s 4、標(biāo)配兩路噴液系統(tǒng),,扇形或柱形噴嘴可選 5,、標(biāo)配10L不銹鋼壓力桶兩只,其它規(guī)格可選 6,、清洗液或氮氣加溫系統(tǒng)可選配 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:940mm(長)×800mm(寬)×1100mm(高) |