干涉儀類(lèi)別：

1D激光主要可以測(cè)量定位誤差

3D激光可以測(cè)量定位誤差,、直線度誤差（雙向）

5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差（雙向）,、偏擺角,、俯仰角和滾動(dòng)角

XD激光測(cè)量系統(tǒng)是一臺(tái)由外部計(jì)算機(jī)及其應(yīng)用程序控制的激光測(cè)量?jī)x器。XD激光測(cè)量系統(tǒng)可以同時(shí)對(duì)六個(gè)自由度上的參數(shù)進(jìn)行測(cè)量,，包括：線位移,、水平直線度、垂直直線度,、（水平面內(nèi)）偏擺角,、（垂直面內(nèi)）俯仰角以及繞測(cè)量軸旋轉(zhuǎn)的滾擺角。

概述

    5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品,，一次安裝能夠同時(shí)測(cè)量線性軸的六個(gè)誤差,，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差,、3個(gè)角度誤差,。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測(cè)試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成,，實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明,，節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。

    該儀器體積小,，重量輕,，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器,、干涉儀和6維傳感器組成,，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過(guò)干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋,，經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子記數(shù)，記錄準(zhǔn)確長(zhǎng)度位移,。第二束光用作直線度測(cè)量的參考光束,，傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級(jí)管測(cè)得,。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源，用來(lái)測(cè)量角度誤差（俯仰角和偏擺角）,。

    為了保證激光光束的穩(wěn)定性,，測(cè)量?jī)x在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測(cè)量?jī)x的橫向和角度漂移量都降低到很小,，從而保證測(cè)量?jī)x的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,。測(cè)量?jī)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器,，自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響,，測(cè)量?jī)x還配有專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到非常小,。

主要特點(diǎn)

1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差,、直線度誤差（雙軸）、偏擺角,、俯仰角和滾動(dòng)角 
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器 
3. 可選的無(wú)線遙控傳感器很長(zhǎng)的控制距離可到25米 
4. 可測(cè)量速度,、加速度,、振動(dòng)等參數(shù),，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性 
5. 全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤，設(shè)計(jì)緊湊,、體積小,，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架 
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟,，減少了調(diào)整時(shí)間

技術(shù)參數(shù)（XD Laser 為無(wú)線產(chǎn)品,，可選三種不同的準(zhǔn)確性等級(jí)）