NanoCalc薄膜反射光譜儀系統(tǒng)
- 公司名稱(chēng) 雷迪美特中國(guó)有限公司-C
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2019/4/12 19:42:14
- 訪問(wèn)次數(shù) 362
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薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)可以用來(lái)進(jìn)行10nm~250μm的膜厚分析測(cè)量,對(duì)單層膜的分辨率為0.1nm,。根據(jù)測(cè)量軟件的不同,,可以分析單層或多層膜厚。
NanoCalc薄膜反射光譜儀系統(tǒng)特點(diǎn)
可分析單層或多層薄膜
分辨率達(dá)0.1nm
適合于在線監(jiān)測(cè)
操作理論
常用的兩種測(cè)量薄膜的特性的方法為光學(xué)反射和投射測(cè)量,、橢圓光度法測(cè)量,。NanoCalc利用反射原理進(jìn)行膜厚測(cè)量。
查找n和k值
可以進(jìn)行多達(dá)三層的薄膜測(cè)量,,薄膜和基體測(cè)量可以是金屬,、電介質(zhì),、無(wú)定形材料或硅晶等。NanoCalc薄膜反射光譜儀系統(tǒng)軟件包含了大多數(shù)材料的n和k值數(shù)據(jù)庫(kù),,用戶也可以自己添加和編輯。
應(yīng)用
NanoCalc薄膜反射材料系統(tǒng)適合于在線膜厚和去除率測(cè)量,,包括氧化層,、中氮化硅薄膜、感光膠片及其它類(lèi)型的薄膜,。NanoCalc也可測(cè)量在鋼,、鋁、銅,、陶瓷,、塑料等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗磨涂層等,。