位置靈敏探測器PSD （Position Sensitive Device） 屬于半導(dǎo)體器件, 一般做成PN結(jié)構(gòu),具有高靈敏度,、高分辨率、響應(yīng)速度快和配置電路簡單等優(yōu)點,。其工作原理是基于橫向光電效應(yīng),。位置靈敏探測器作為新型器件, PSD 已經(jīng)被廣泛應(yīng)用在位置坐標的測量上, 如: 兵器制導(dǎo)和跟蹤、工業(yè)自動控制,、或位置變化等技術(shù)領(lǐng)域上.

分節(jié)PSD                                                                             

這類PSD的基底通常分成兩節(jié)或四節(jié)（分別對應(yīng)一維或二維測量）,。如果光斑停在中心位置，對稱的光斑會在所有的節(jié)上產(chǎn)生相等的光電流,。通過簡單測量各節(jié)的輸出電流,，可以得到相對的位置信息。由于各單元之間*的響應(yīng)匹配,，它們提供的位置分辨率優(yōu)于0.1um,，度也比橫向效應(yīng)的PSD高。與橫向效應(yīng)PSD不同的是，分節(jié)PSD的位置分辨率與系統(tǒng)的信噪比無關(guān),，因此它可以探測非常微弱的光信號,。它們展示了基于時間和溫度條件下的*穩(wěn)定性，以及脈沖應(yīng)用所需的快速時間效率,。然而,，它們也受一些因素的限制，比如光斑必須在任何時間疊加在所有的節(jié)上,，它不能小于各節(jié)之間的條帶寬度,。同時，正確的測量,、均勻的光斑密度分配也是很重要的,。它們是調(diào)零應(yīng)用和光束準直應(yīng)用的器件。分節(jié)PSD產(chǎn)品包括二像素系列,，四像素系列,，紫外增強型系列

橫向效應(yīng)PSD                                                                      

橫向效應(yīng)PSD采用連續(xù)的平面擴散型光電二管，沒有條帶或盲區(qū),。這類PSD直接讀出整個有效區(qū)域下的光斑位移量,。在探測器有效區(qū)域上，光斑的位置和密度信息與模擬輸出量直接成正比,，通過這一輸出就可以獲得位移量,。照在有效區(qū)域上的光斑會產(chǎn)生光電流，光電流流過入射點,，穿過電阻層,，進入接觸層。入射點與接觸層之間的電阻與光電流成反比,。當光斑正好照到器件中央位置,，會產(chǎn)生相同的電流信號。當在有效區(qū)域上移動光斑,，接觸層產(chǎn)生的電流大小,，會確定光斑正確的瞬態(tài)位置。這些電信號與從中心到光斑的位置成比例關(guān)系,。

橫向效應(yīng)光電二管的主要優(yōu)勢在于它們寬的動態(tài)范圍,。它們能測量到探測器邊緣的所有光斑位置。它們與光斑形狀,、密度分布無關(guān),，而這一點會影響分節(jié)光電二管的位置讀取。輸入的光束可以是任何的尺寸和形狀,，這是因為電氣輸出信號由光斑位置重心指示,，而輸出與到中心的位移量成正比,。器件的位置分辨率優(yōu)于0.5um。分辨率取決于探測器/電路信號與噪聲的比值,。

兩種橫向效應(yīng)PSD：二元橫向結(jié)構(gòu)和四元橫向結(jié)構(gòu),。所有的結(jié)構(gòu)都可以以一維和二維形式排列。

二元橫向PSD：它有兩個電阻層,，一個在光電二管頂部,，另一個在底部。在每一層,，光電流都被分成兩部分,。這種結(jié)構(gòu)能分辨小于0.5um的光斑移動，并且有非常小的位置探測誤差,，幾乎可以到有效區(qū)域的邊界,。它們也展示了在整個有效區(qū)域上良好的位置線性度。

四元橫向PSD：只有一個電阻層,，針對一維或二維感應(yīng)時,，光電流被分別分成兩部分或四部分。與二元橫向型相比,，這些器件在離中心較遠處的位移非線性較大,，即較大的位置探測誤差

一維PSD探測器                                                                  

一維PSD探測出一個亮點移動在它的在一個*方向的表面。入射光引起的光電流流經(jīng)設(shè)備,，作為輸入偏壓電流被劃分成二個輸出電流,。輸出電流的分布顯示出探測器的光斑的位置。

一維探測器從2.5*0.6mm2'> ---60.0*3.0mm2'> 可選,，上升時間為0.3us---4.5us,。

二維PSD探測器                                                                   

二維PSD探測器在其的方形的表面上的一個入射光斑點位置。入射光引起的光電流流經(jīng)設(shè)備,，作為二個輸入電流和二個輸出電流,。輸出電流的分布顯示一個維度（y）的光斑的位置和輸入電流的分布顯示另一個維度（y）的光斑的位置,。

二維探測器從2.0*2.0mm2'> ---45.0*45.0mm2'> 可選,，上升時間為0.3us---7us。

另外,，還提供帶信號處理電路的高線性二維PSD探測器,，面積可達10*10mm2'> 。

產(chǎn)品系列                                                                                         

四象限位置傳感器                                    二維位置傳感器       

靈敏度高,，暗噪聲低,，                             靈敏度高，暗噪聲低,，

用于高精度中心位置                               位置分辨率好,，適用于

測量                                                    高精度二維位置測量

應(yīng)用領(lǐng)域                                               應(yīng)用領(lǐng)域             

激光準直                                             位移,、水平度測量

中心位置校準                                       三維形貌測量