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canon-anelva量規(guī)BRG-1B真空計

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日本進口儀器儀表

供貨周期 一個月 規(guī)格 1
貨號 BRG-1B 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,電子/電池,電氣
主要用途 量規(guī) 測量范圍 10-6~10Pa

canon-anelva量規(guī)BRG-1B真空計

canon-anelva量規(guī)BRG-1B真空計

 電容式壓力表“M-342DG”采用小型硅MEMS芯片作為壓力傳感器,將溫度,、振動和大氣壓力波動等外部環(huán)境的影響降至,,從而實現(xiàn)高精度和穩(wěn)定的壓力測量,。達到最小調(diào)零頻率

型 名LG-11SUGD-1SBRG-1B
ゲージタイプシュルツゲージB-AゲージワイドレンジB-Aゲージ
形狀ガラス管狀
被測定真空室
との接続
φ15ゲージポート(Oリング)

 用 支持各種高精度、長期穩(wěn)定的真空壓力測量 各種真空器件,,如半導(dǎo)體,、顯示器、太陽能電池等,。 ? 真空成膜過程壓力控制和監(jiān)測,,如濺射和PECVD ?負載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導(dǎo)入工序,、系統(tǒng)壓力控制 醫(yī)療,、生物科技、食品等行業(yè),,以及各種研發(fā)應(yīng)用 各種鍍膜,、等離子處理,、真空密封、真空爐,、分析儀,、殺菌,、真空泵評價、分子蒸餾等

 

型名M-342DG
-1D-1N-11-12-13
フルスケール圧力(Pa) 13.33 133.31.333k13.33k133.3k
測定精度(% of reading)0.20(at 23℃)

 

 

ゼロ點溫度係數(shù)(% of F.S./℃)0.010.0050.002
スパン溫度係數(shù)(% of reading/℃)0.010.005
分解能(% of Full-scale)0.010.005
測定下限圧力(% of Full-scale)0.01
実用測定下限圧力(% of Full-scale)0.05

 



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