Nanosystem NV-2400非接觸式3D輪廓儀?是一款適用于各種表面的快速非接觸式三維輪廓儀。XY自動(dòng)平臺(tái),，而Z軸是手動(dòng)的,。納米系統(tǒng)主要是為R&D、高校和過程管理用戶而設(shè)計(jì),。Nanosystem用自己Patented算法和白光干涉技術(shù)創(chuàng)造硬件和軟件,。它可以通過拼接函數(shù)測(cè)量大視場(chǎng)(500mm²)。Patented WSI/PSI技術(shù)測(cè)量各種表面材料和參數(shù),，包括表面紋理,、形狀、臺(tái)階高度和更高的二維和三維剖面(0.1 nm-垂直和0.2 um-橫向分辨率),。Patented WSI/PSI技術(shù)測(cè)量各種表面材料和參數(shù),，包括表面紋理的2D和3D輪廓，形狀,，臺(tái)階高度及以上(0.1nm-垂直和0.2微米-橫向分辨率),。

白光掃描干涉技術(shù)(WSI)是一種測(cè)量高分辨率(0.1nm)、高速測(cè)量表面積,、高度和體積的技術(shù),。在不破壞任何破壞的情況下，納米系統(tǒng)的WSI技術(shù)(白光掃描干涉法)能在幾秒鐘內(nèi)從0.1nm到10000米范圍內(nèi)測(cè)量樣品,，并提供真實(shí)的樣品三維形狀,。此外，重復(fù)性小于0.1%(1σ),，無論放大,，z軸分辨率為0.1nm?；诩{米系統(tǒng)技術(shù)的精度(高精度,、重復(fù)性和重復(fù)性)，該產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、印刷電路板,、顯示、工程部件,、化工材料,、光學(xué)部件、生物,、R&D等領(lǐng)域,。

Nanosystem NV-2400非接觸式3D輪廓儀提供高分辨率(0.1nm)、10萬倍放大率(10 Mm)和高清晰度圖像,，在0.1nm至10000 m范圍內(nèi),，在2秒內(nèi)測(cè)量樣品,，提供真實(shí)的2D/3D樣品形狀，無需準(zhǔn)備(只需將樣品直接放在舞臺(tái)上),，測(cè)量任意尺寸和幾乎任何材料的樣品(反射率為1%),。

NV-2400的優(yōu)點(diǎn)

·       優(yōu)良的測(cè)量精度

·       抗振動(dòng)設(shè)計(jì)

·       快速測(cè)量速度

·       友好的測(cè)量界面

·       Stitching功能

·       2D和3D多功能性能

主要功能

·       3D 形貌測(cè)量

·       粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (選項(xiàng))

·       高度,，深度,，寬度(從亞納米到10mm)·

·       面積信息(體積，面積)

·       2D和3D 測(cè)量

產(chǎn)品規(guī)格

·       干涉物鏡：5個(gè)物鏡可選

·       掃描范圍：0-180um（270um,，5mm可選）

·       垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ,，PSI ：﹤0.1nm

·       傾斜臺(tái)：±6°

·       Z軸行程：100mm（手動(dòng)）

·       工作臺(tái)面：100X100mm（程控)