NanoSystem NV-1800 3D輪廓儀是一種手動的非接觸式三維輪廓儀,，適用于任何表面。其設計簡單,，忠實于基本功能,。Nanosystem利用自己的patented算法和白光干涉技術(shù)創(chuàng)造H/W和S/W。Patented的WSI/PSI技術(shù)測量各種表面材料和參數(shù),，包括表面紋理,、形狀、臺階高度和更高(0.1nm-垂直和0.2 um-橫向分辨率)的二維和三維剖面,。

白光掃描干涉技術(shù)(WSI)是一種測量高分辨率(0.1nm),、高速測量表面積、高度和體積的技術(shù),。在不破壞任何破壞的情況下,，納米系統(tǒng)的WSI技術(shù)(白光掃描干涉法)能在幾秒鐘內(nèi)從0.1nm到10000μm范圍內(nèi)測量樣品，并提供真實的樣品三維形狀,。此外,，重復性小于0.1%(1σ)，無論放大,，z軸分辨率為0.1nm,。基于納米系統(tǒng)技術(shù)的精度(高精度,、重復性和重復性),，該產(chǎn)品可廣泛應用于半導體,、印刷電路板、顯示,、工程部件,、化工材料、光學部件,、生物,、R&D等領(lǐng)域。

NanoSystem NV-1800 3D輪廓儀提供高分辨率(0.1nm),、10萬倍放大率(10 Mm)和高清晰度圖像,，在0.1nm至10000 μm范圍內(nèi)，在2秒內(nèi)測量樣品,，提供真實的2D/3D樣品形貌,，無需準備(只需將樣品直接放在樣品臺上)，測量任意尺寸和幾乎任何材料的樣品(反射率為1%),。

NV-1800的優(yōu)點

·       優(yōu)良的測量精度

·       無需振動臺面

·       抗振動的緊湊設計

·       快速測量速度

·       友好的測量界面

·       全手動操作

·       2D和3D多功能性能

主要功能

·       3D 形貌測量- 粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (選項)

·       高度,，深度，寬度(從亞納米到10)·

·       面積信息(體積,，面積)-2D, 3D Measurement

產(chǎn)品規(guī)格：

·       干涉物鏡：單透鏡可選

·       掃描范圍：0-180um（270um可選）

·       垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ,，PSI ：﹤0.1nm

·       傾斜臺：±3°

·       Z軸行程：30mm（手動）

·       工作臺面：50X50mm（手動）

應用領(lǐng)域：

Nano View系列為LCD（液晶顯示器）、IC Package（芯片封裝）,、Substrate（基板）,、Build-up PCB（積層板）、MEMS（微機電系統(tǒng)）,，Engineering Surfaces（工程表面）等等領(lǐng)域提供納米級別精度的量測,。