一,、簡(jiǎn)介

1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

　　中圖激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),，是迄今*的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器,，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。

　　SJ6000激光干涉儀集光、機(jī),、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,，其壽命可達(dá)50000小時(shí),；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗*力強(qiáng),、*穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號(hào)采集,、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率,；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),，支持中文,、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機(jī)界面,、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。

SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高,、測(cè)量范圍大,、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng),、角度、直線度,、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量,。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),，以及進(jìn)行位移、速度,、加速度,、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

2.產(chǎn)品配置

　　SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組,、角度鏡組,、直線度鏡組、垂直度鏡組,、平面度鏡組,、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

其中,，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測(cè)量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

二.工作原理

　　激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,，然后分成兩道光束,，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,，這兩道光束再反射回到分光鏡,，重新匯聚之后返回激光器,，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見(jiàn)圖）。若光程差沒(méi)有變化時(shí),，探測(cè)器會(huì)在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào),。

　　若光程差有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí),，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào),，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)光程之間的差異變化。

三. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)

◆精度高

　　SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義,。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗*力強(qiáng),、*穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償,；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠,。

◆功能廣

  ● 可實(shí)現(xiàn)線性、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

  ● 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等,；

  ● 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn),；

  ● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

  ● 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,，包括位移分析、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

  ● 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

◆軟件強(qiáng)

  ●  友好的人機(jī)界面,；

  ●  豐富的應(yīng)用功能模塊,；

  ●  向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

  ●  簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

  ●  支持中文,、英文和俄文界面,；