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日立分析儀器(上海)有限公司

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真空紫外分光光度計(jì)V1000

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

真空紫外分光光度計(jì)

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儀器結(jié)構(gòu) 雙波長(zhǎng) 自動(dòng)程度 自動(dòng)波長(zhǎng)

真空紫外分光光度計(jì)V1000用于115nm~300nm波長(zhǎng)范圍的光學(xué)特性評(píng)價(jià),。在真空紫外領(lǐng)域,因?yàn)檠鯕獾脑蛴泻軓?qiáng)的吸收,,以前都是將光路做成真空測(cè)量,,但是V-1000采用吹掃性能好的機(jī)箱,可以進(jìn)行氮?dú)獯祾吆鬁y(cè)量,,樣品設(shè)置到測(cè)量開(kāi)始可在短時(shí)間內(nèi)完成,。另外,因?yàn)橐p單色器所以除去雜射光,,監(jiān)控雙光束方式提高測(cè)光再現(xiàn)性,。因此,在157nm實(shí)現(xiàn)0.03%的測(cè)光再現(xiàn)性,。

真空紫外分光光度計(jì)V1000

規(guī)格

▼V-1000

 

V-1000

光源

氘燈(D2)

分光器

凹面回折格子雙單色器,、雙光束方式

入射角度

透過(guò)率5°、45°入射反射率(標(biāo)準(zhǔn))

波長(zhǎng)范圍

115~300 nm

測(cè)光再現(xiàn)性

157nm附近,、標(biāo)準(zhǔn)偏差:σ=0.03%以下 (對(duì)于70%以上透過(guò)材料)

選項(xiàng)測(cè)量

測(cè)量反射率,、測(cè)量偏光

 

大規(guī)模集成電路(Large Scale Integrated circuit)LSI的高集成化使制造過(guò)程的微型化進(jìn)一步發(fā)展,伴隨這個(gè)趨勢(shì)光刻使用光源的波長(zhǎng)向短波長(zhǎng)推移,,現(xiàn)在ArF激光(193nm)是主流,。為了對(duì)應(yīng)微細(xì)化線寬0.07μm,,研究了F2激光(157nm)實(shí)用化。因此,,有必要對(duì)光刻機(jī)上使用的鏡頭以及反光鏡等光學(xué)部件在真空紫外領(lǐng)域的光學(xué)特性進(jìn)行正確的評(píng)價(jià),。

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