LIDA279/LIDA289/LIDA209 heidenhain海德漢光柵尺LIDA209精度±15 µm
- 公司名稱 上海韜世實業(yè)發(fā)展有限公司
- 品牌 HEIDENHAIN/德國海德漢
- 型號 LIDA279/LIDA289/LIDA209
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/11/20 19:12:18
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工作原理
莫爾條紋
以透射光柵為例,，當指示光柵上的線紋和標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ,，并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時，在光源的照射下,，位于幾乎垂直的柵紋上,，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示),。嚴格地說,，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,，以W表示,。
莫爾條紋
W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。
莫爾條紋具有以下特征：
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對移過一個柵距,，莫爾條紋移過一個條紋距離,。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),，變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步,。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下,，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系,。式中,，θ的單位為rad，W的單位為mm,。由于傾角很小,，sinθ很小，則
W=ω /θ
若ω =0．01mm,，θ=0.01rad,，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍,。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,，這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了,，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差,。
heidenhain海德漢光柵尺LIDA209精度±15 µm
規(guī)模 | LIDA 209 |
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測量標準 線膨脹系數(shù) | 鋼卷尺,；光柵周期200微米 ?therm ? 10 x 10–6 K–1 | |||
精度等級 | ±15 µm | |||
從卷上切下的卷尺* | 3 m, 5 m, 10 m | |||
參考標記 | 每100毫米可選 | |||
質(zhì)量 | 20 g/m | |||
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掃描頭 | LIDA 28 | LIDA 27 |
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界面 | 1 VPP | TTL |
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積分插值* 信號周期 | – 200 µm | 10-fold 20 µm | 50-fold 4 µm | 100-fold 2 µm |
截止頻率 掃描頻率 邊緣分離A | ≥ 50 kHz – – | – ≥ 50 kHz ≥ 0.465 µs | – ≤ 25 kHz ≥ 0.175 µs | – ≤ 12.5 kHz ≥ 0.175 µs |
橫移速度 | ≤ 600 m/min | ≤ 300 m/min | ≤ 150 m/min | |
插值誤差 | ±2 µm | – | ||
電氣連接* | 電纜，1米或3米,，帶15針D-Sub連接器（公） | |||
電纜長度 | 見接口說明,，但≤30米（帶海德漢電纜） | |||
電源 | DC 5 V ±0.25 V |
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電流消耗 | < 155 mA | < 140 mA (無負荷) |
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振動55赫茲至2000赫茲 沖擊11毫秒 | ≤ 200 m/s2 (EN 60068-2-6) ≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-27) | |||
工作溫度 | –10 °C to 70 °C | |||
質(zhì)量掃描頭 連接電纜 連接器 | 20 g (無負荷) 30 g/m 32 g | |||
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