GasPro™TEM-100在線高流量ePTFE濾器TEM-128-24

GasPro™TEM-100系列濾光片的設(shè)計(jì)波長為3 nm顆粒截留率高達(dá)300 scfm，以及溫度敢達(dá)80oC（176oF）,。ePTFE膜（2.04m2/22.0平方英尺)帶著

聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在不銹鋼316L外殼,，具有的流動(dòng)性和穩(wěn)定性耐化學(xué)性。使用標(biāo)準(zhǔn)Viton®o形圈（其他o形圈材料可在重新測試時(shí)獲得）,。

應(yīng)用

•一般和工藝惰性氣體設(shè)施半導(dǎo)體,、平板顯示器和其他高純度應(yīng)用。

•用于關(guān)鍵平板工藝的氣體,，包括襯底退火,。

•關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣，包括：前開口統(tǒng)一吊艙（FOUP）清潔和安裝光刻。

規(guī)格

•過濾等級(jí)我們的多孔ePTFE濾光片可提供有效的3納米濾光片顆粒保留,。

•高工作溫度*80攝氏度（176華氏度）,。

建議更換：在69oC（156oF）以上運(yùn)行6個(gè)月。

•大工作壓力在20°C（68°F）條件下為17.2bar（250 psig）,。

•大正向流量壓差

20oC（68oF）：6.0bar（87磅/平方英寸）

80oC（176oF）：4.0bar磅/平方英寸）

GasPro™TEM-100系列GasPro™TEM-100在線高流量ePTFE濾器TEM-128-24

•電拋光外殼過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,，防止腐蝕和腐蝕粒子在內(nèi)表面上堆積。

•包裝外清潔度我們的加斯普羅™ 清潔TEM-100過濾器,，并在無塵室內(nèi)包裝,，不含有機(jī)成分處理包裝外、無顆粒和無化學(xué)品清潔度,。終組件被清除用過濾氮?dú)膺M(jìn)行初始清潔,。附加的預(yù)處理是可選的。

•多種配件選項(xiàng),，便于安裝標(biāo)準(zhǔn)配件選項(xiàng)包括端面/墊片密封,，壓縮、對(duì)焊和NPT,。特殊配件,，包括三夾（三葉草）衛(wèi)生和法蘭類型,，可根據(jù)要求提供,。

•氦泄漏測試所有裝置均以1x10-9 atm cc/秒的速度進(jìn)行測試。

零件號(hào),、入口/出口配件,、過濾介質(zhì)/外殼、其他材料,、長度（L）

TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口

PTFE/316L不銹鋼鋼聚丙烯

氟橡膠®密封件*899.9毫米（35.43英寸）

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm（34.0”）

TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm（37.25”）

TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm（35.0”）